机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2009年
4期
295-298
,共4页
原子力显微镜%消除倾角和摩擦力影响模式%表面倾角%摩擦力
原子力顯微鏡%消除傾角和摩抆力影響模式%錶麵傾角%摩抆力
원자력현미경%소제경각화마찰력영향모식%표면경각%마찰력
原子力显微镜(Atomic force microscopes,AFM)接触模式下的测量结果因受样本表面倾角和针尖一样本表面间摩擦力的影响而存在较大的测量误差.为避免针尖-表面间的摩擦力对AFM测量试样表面形貌的影响,并能够准确测量表面倾角,提出了一种新的AFM工作模式--消除倾角和摩擦力影响模式.在这种工作模式中,扫描方向垂直悬臂的长轴方向,通过测量悬臂的竖向和横向偏转而得到针尖所受的竖向和横向力,并计算得到针尖-试样表面间的van der Waals力及试样表面局部倾角,然后结合针尖项点和扫描器的位置及针尖-试样表面间距可以得到试样表面形貌的测量结果.在上述工作模式下,针尖-试样表面间的摩擦力是可控的,能够避免针尖或试样的损伤.仿真结果证明了这种方法的可行性.
原子力顯微鏡(Atomic force microscopes,AFM)接觸模式下的測量結果因受樣本錶麵傾角和針尖一樣本錶麵間摩抆力的影響而存在較大的測量誤差.為避免針尖-錶麵間的摩抆力對AFM測量試樣錶麵形貌的影響,併能夠準確測量錶麵傾角,提齣瞭一種新的AFM工作模式--消除傾角和摩抆力影響模式.在這種工作模式中,掃描方嚮垂直懸臂的長軸方嚮,通過測量懸臂的豎嚮和橫嚮偏轉而得到針尖所受的豎嚮和橫嚮力,併計算得到針尖-試樣錶麵間的van der Waals力及試樣錶麵跼部傾角,然後結閤針尖項點和掃描器的位置及針尖-試樣錶麵間距可以得到試樣錶麵形貌的測量結果.在上述工作模式下,針尖-試樣錶麵間的摩抆力是可控的,能夠避免針尖或試樣的損傷.倣真結果證明瞭這種方法的可行性.
원자력현미경(Atomic force microscopes,AFM)접촉모식하적측량결과인수양본표면경각화침첨일양본표면간마찰력적영향이존재교대적측량오차.위피면침첨-표면간적마찰력대AFM측량시양표면형모적영향,병능구준학측량표면경각,제출료일충신적AFM공작모식--소제경각화마찰력영향모식.재저충공작모식중,소묘방향수직현비적장축방향,통과측량현비적수향화횡향편전이득도침첨소수적수향화횡향력,병계산득도침첨-시양표면간적van der Waals력급시양표면국부경각,연후결합침첨항점화소묘기적위치급침첨-시양표면간거가이득도시양표면형모적측량결과.재상술공작모식하,침첨-시양표면간적마찰력시가공적,능구피면침첨혹시양적손상.방진결과증명료저충방법적가행성.
