真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
3期
264-267
,共4页
王坤%李建%王世庆%郦文忠%柳建%徐灵飞%孙乃峰
王坤%李建%王世慶%酈文忠%柳建%徐靈飛%孫迺峰
왕곤%리건%왕세경%역문충%류건%서령비%손내봉
表面波等离子体%潘宁效应%朗缪尔双探针
錶麵波等離子體%潘寧效應%朗繆爾雙探針
표면파등리자체%반저효응%랑무이쌍탐침
潘宁过程可以有效地降低直流、低频放电中的放电起始电压.关于射频放电,特别是表面波等离子体中的潘宁过程的研究,目前还很少有报道.本文介绍了一种由Ro-box装置激发的SWP源,通过实验方式研究了此装置产生的表面波等离子体柱中的He-Ar潘宁过程对其物理性质的影响.结果表明,合适配比的潘宁气体对于表面波等离子体柱特性有很大影响,它可以有效地降低放电起始功率和放电维持功率,延长等离子体柱长度,提高等离子体密度等;在此过程中电子温度略降低.本研究为在表面波等离子体应用中获取合适的等离子体参量提供了新的途径.
潘寧過程可以有效地降低直流、低頻放電中的放電起始電壓.關于射頻放電,特彆是錶麵波等離子體中的潘寧過程的研究,目前還很少有報道.本文介紹瞭一種由Ro-box裝置激髮的SWP源,通過實驗方式研究瞭此裝置產生的錶麵波等離子體柱中的He-Ar潘寧過程對其物理性質的影響.結果錶明,閤適配比的潘寧氣體對于錶麵波等離子體柱特性有很大影響,它可以有效地降低放電起始功率和放電維持功率,延長等離子體柱長度,提高等離子體密度等;在此過程中電子溫度略降低.本研究為在錶麵波等離子體應用中穫取閤適的等離子體參量提供瞭新的途徑.
반저과정가이유효지강저직류、저빈방전중적방전기시전압.관우사빈방전,특별시표면파등리자체중적반저과정적연구,목전환흔소유보도.본문개소료일충유Ro-box장치격발적SWP원,통과실험방식연구료차장치산생적표면파등리자체주중적He-Ar반저과정대기물이성질적영향.결과표명,합괄배비적반저기체대우표면파등리자체주특성유흔대영향,타가이유효지강저방전기시공솔화방전유지공솔,연장등리자체주장도,제고등리자체밀도등;재차과정중전자온도략강저.본연구위재표면파등리자체응용중획취합괄적등리자체삼량제공료신적도경.
