计算物理
計算物理
계산물리
CHINESE JOURNAL OF COMPUTATIONAL PHYSICS
2009年
5期
751-757
,共7页
李运超%开花%李双%郭德成%李之杰
李運超%開花%李雙%郭德成%李之傑
리운초%개화%리쌍%곽덕성%리지걸
含氢类金刚石膜%离子束辅助沉积%分子动力学模拟
含氫類金剛石膜%離子束輔助沉積%分子動力學模擬
함경류금강석막%리자속보조침적%분자동역학모의
选C2分子和一定量的H原子作为沉积源,Ar离子作为辅助沉积粒子,采用分子动力学(MD)方法模拟研究离子束辅助沉积(IBAD)生长类金刚石(DLC)膜的物理过程.给定Ar的入射能量并改变Ar的到达比(Ar/C),研究辅助沉积对DLC膜结构的影响;重点讨论Ar辅助沉积引起表面原子的瞬间活性变化对薄膜结构产生的影响.结果表明,由于Ar离子轰击引起的能量和动量的传递,增加了合成薄膜的SP3键含量,增大了合成薄膜的密度,加宽了沉积粒子和衬底的结合宽度,研究结果和实验观察一致,并从合成机理上给出一些定量解释.
選C2分子和一定量的H原子作為沉積源,Ar離子作為輔助沉積粒子,採用分子動力學(MD)方法模擬研究離子束輔助沉積(IBAD)生長類金剛石(DLC)膜的物理過程.給定Ar的入射能量併改變Ar的到達比(Ar/C),研究輔助沉積對DLC膜結構的影響;重點討論Ar輔助沉積引起錶麵原子的瞬間活性變化對薄膜結構產生的影響.結果錶明,由于Ar離子轟擊引起的能量和動量的傳遞,增加瞭閤成薄膜的SP3鍵含量,增大瞭閤成薄膜的密度,加寬瞭沉積粒子和襯底的結閤寬度,研究結果和實驗觀察一緻,併從閤成機理上給齣一些定量解釋.
선C2분자화일정량적H원자작위침적원,Ar리자작위보조침적입자,채용분자동역학(MD)방법모의연구리자속보조침적(IBAD)생장류금강석(DLC)막적물리과정.급정Ar적입사능량병개변Ar적도체비(Ar/C),연구보조침적대DLC막결구적영향;중점토론Ar보조침적인기표면원자적순간활성변화대박막결구산생적영향.결과표명,유우Ar리자굉격인기적능량화동량적전체,증가료합성박막적SP3건함량,증대료합성박막적밀도,가관료침적입자화츤저적결합관도,연구결과화실험관찰일치,병종합성궤리상급출일사정량해석.
