红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
7期
1899-1904
,共6页
张宇%金春水%马冬梅%王丽萍
張宇%金春水%馬鼕梅%王麗萍
장우%금춘수%마동매%왕려평
空气扰动误差%十三步移相算法%移相点衍射干涉仪%光学检测
空氣擾動誤差%十三步移相算法%移相點衍射榦涉儀%光學檢測
공기우동오차%십삼보이상산법%이상점연사간섭의%광학검측
为了提高可见光移相点衍射干涉仪的测量精度,对空气扰动误差的分析以及有效的抑制是十分必要的.利用自行设计的十三步移相算法与传统的五步移相算法对空气扰动误差进行了理论分析与仿真计算,分析结果证明了新算法的优越性,并且通过对干涉仪的空气扰动误差的分析,最终得到了干涉仪工作的环境控制条件,如果采用十三步移相算法,保证空气温度变化控制在±0.005℃以内,压强变化控制在±1 Pa以内,水汽压变化控制在±5 Pa以内,温度梯度变化控制在0～0.01℃范围内,压强梯度变化控制在0～2 Pa范围内,最后再对多次测量结果取平均,则空气扰动误差引起的位相误差将在测量精度允许的范围内.在现有的实验条件下搭建了原理实验装置,实验结果表明:十三步算法和五步算法的结果相近,但十三步算法的重复性优于五步算法.采用十三步算法,在所构建的实验装置上实现了RMS值优于λ/10000(λ=632.8 nm)的检测重复性.
為瞭提高可見光移相點衍射榦涉儀的測量精度,對空氣擾動誤差的分析以及有效的抑製是十分必要的.利用自行設計的十三步移相算法與傳統的五步移相算法對空氣擾動誤差進行瞭理論分析與倣真計算,分析結果證明瞭新算法的優越性,併且通過對榦涉儀的空氣擾動誤差的分析,最終得到瞭榦涉儀工作的環境控製條件,如果採用十三步移相算法,保證空氣溫度變化控製在±0.005℃以內,壓彊變化控製在±1 Pa以內,水汽壓變化控製在±5 Pa以內,溫度梯度變化控製在0～0.01℃範圍內,壓彊梯度變化控製在0～2 Pa範圍內,最後再對多次測量結果取平均,則空氣擾動誤差引起的位相誤差將在測量精度允許的範圍內.在現有的實驗條件下搭建瞭原理實驗裝置,實驗結果錶明:十三步算法和五步算法的結果相近,但十三步算法的重複性優于五步算法.採用十三步算法,在所構建的實驗裝置上實現瞭RMS值優于λ/10000(λ=632.8 nm)的檢測重複性.
위료제고가견광이상점연사간섭의적측량정도,대공기우동오차적분석이급유효적억제시십분필요적.이용자행설계적십삼보이상산법여전통적오보이상산법대공기우동오차진행료이론분석여방진계산,분석결과증명료신산법적우월성,병차통과대간섭의적공기우동오차적분석,최종득도료간섭의공작적배경공제조건,여과채용십삼보이상산법,보증공기온도변화공제재±0.005℃이내,압강변화공제재±1 Pa이내,수기압변화공제재±5 Pa이내,온도제도변화공제재0～0.01℃범위내,압강제도변화공제재0～2 Pa범위내,최후재대다차측량결과취평균,칙공기우동오차인기적위상오차장재측량정도윤허적범위내.재현유적실험조건하탑건료원리실험장치,실험결과표명:십삼보산법화오보산법적결과상근,단십삼보산법적중복성우우오보산법.채용십삼보산법,재소구건적실험장치상실현료RMS치우우λ/10000(λ=632.8 nm)적검측중복성.
