仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2001年
8期
40-41
,共2页
电容式传感器%薄膜测厚静%电影响
電容式傳感器%薄膜測厚靜%電影響
전용식전감기%박막측후정%전영향
针对实际生产中遇到的薄膜静电影响问题,采用了一种比较巧妙的电路方法--线圈隔离法消除了静电的影响.该技术是一种实用的在线薄膜测量技术,也可以运用到其他电容式传感器非接触式的在线测量中.
針對實際生產中遇到的薄膜靜電影響問題,採用瞭一種比較巧妙的電路方法--線圈隔離法消除瞭靜電的影響.該技術是一種實用的在線薄膜測量技術,也可以運用到其他電容式傳感器非接觸式的在線測量中.
침대실제생산중우도적박막정전영향문제,채용료일충비교교묘적전로방법--선권격리법소제료정전적영향.해기술시일충실용적재선박막측량기술,야가이운용도기타전용식전감기비접촉식적재선측량중.
