中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2003年
11期
1015-1018
,共4页
林德教%柳忠尧%张蕊%殷纯永%徐毅
林德教%柳忠堯%張蕊%慇純永%徐毅
림덕교%류충요%장예%은순영%서의
测绘仪器%相位测量%外差干涉%共焦显微术
測繪儀器%相位測量%外差榦涉%共焦顯微術
측회의기%상위측량%외차간섭%공초현미술
提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统,该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位,其轴向台阶高度测量范围在5 μm以上.同时采用相位测量技术,实现了对半波长的3600细分,从而使测量分辨率达到0.1 nm.由此同时满足了高测量精度和较大测量范围的要求.实验结果表明系统在没有恒温的普通实验室条件下1 h内的漂移不超过15 nm,与差动纳米双频干涉仪的比对结果线性系数在0.9999以上,非线性误差约10 nm.
提齣瞭一種以低頻差橫嚮塞曼雙頻激光器作光源的外差榦涉共焦顯微測量繫統,該繫統通過共焦顯微的光彊測量進行粗定位,其軸嚮檯階高度測量範圍在5 μm以上.同時採用相位測量技術,實現瞭對半波長的3600細分,從而使測量分辨率達到0.1 nm.由此同時滿足瞭高測量精度和較大測量範圍的要求.實驗結果錶明繫統在沒有恆溫的普通實驗室條件下1 h內的漂移不超過15 nm,與差動納米雙頻榦涉儀的比對結果線性繫數在0.9999以上,非線性誤差約10 nm.
제출료일충이저빈차횡향새만쌍빈격광기작광원적외차간섭공초현미측량계통,해계통통과공초현미적광강측량진행조정위,기축향태계고도측량범위재5 μm이상.동시채용상위측량기술,실현료대반파장적3600세분,종이사측량분변솔체도0.1 nm.유차동시만족료고측량정도화교대측량범위적요구.실험결과표명계통재몰유항온적보통실험실조건하1 h내적표이불초과15 nm,여차동납미쌍빈간섭의적비대결과선성계수재0.9999이상,비선성오차약10 nm.
