集美大学学报（自然科学版）
集美大學學報（自然科學版）
집미대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIMEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2006年
2期
185-187
,共3页
ZnO薄膜%电子束蒸发%退火
ZnO薄膜%電子束蒸髮%退火
ZnO박막%전자속증발%퇴화
用电子束蒸发法在玻璃基片上制备太阳能电池窗口层ZnO薄膜,并在氧气环境下对其在400～500℃的温度下退火1 h.通过X射线衍射、电镜扫描、透过率光谱等手段测试和分析所制备的薄膜,结果表明:当薄膜未经过热处理时,薄膜中含有大量的单质锌;当薄膜经过400℃退火后,薄膜逐渐结晶,并且其物相成分基本是ZnO当退火温度逐渐升高到500℃时,晶粒长大,晶化程度提高,对可见光和近红外光的透过率也增大,平均值可达90%,此时所制备出的ZnO薄膜适合于作为太阳能电池的窗口层.
用電子束蒸髮法在玻璃基片上製備太暘能電池窗口層ZnO薄膜,併在氧氣環境下對其在400～500℃的溫度下退火1 h.通過X射線衍射、電鏡掃描、透過率光譜等手段測試和分析所製備的薄膜,結果錶明:噹薄膜未經過熱處理時,薄膜中含有大量的單質鋅;噹薄膜經過400℃退火後,薄膜逐漸結晶,併且其物相成分基本是ZnO噹退火溫度逐漸升高到500℃時,晶粒長大,晶化程度提高,對可見光和近紅外光的透過率也增大,平均值可達90%,此時所製備齣的ZnO薄膜適閤于作為太暘能電池的窗口層.
용전자속증발법재파리기편상제비태양능전지창구층ZnO박막,병재양기배경하대기재400～500℃적온도하퇴화1 h.통과X사선연사、전경소묘、투과솔광보등수단측시화분석소제비적박막,결과표명:당박막미경과열처리시,박막중함유대량적단질자;당박막경과400℃퇴화후,박막축점결정,병차기물상성분기본시ZnO당퇴화온도축점승고도500℃시,정립장대,정화정도제고,대가견광화근홍외광적투과솔야증대,평균치가체90%,차시소제비출적ZnO박막괄합우작위태양능전지적창구층.
