真空
真空
진공
VACUUM
2006年
5期
53-55
,共3页
孙清%魏海波%池世春%栾居里
孫清%魏海波%池世春%欒居裏
손청%위해파%지세춘%란거리
变频调速%张力控制%矢量控制%海绵卷绕系统
變頻調速%張力控製%矢量控製%海綿捲繞繫統
변빈조속%장력공제%시량공제%해면권요계통
根据磁控溅射中海绵的传动特性,建立了传动控制的数学模型,采用带有矢量的变频调速器实现了海绵卷绕真空镀膜过程中的张力控制,满足了磁控溅射中海绵卷绕的传动要求.
根據磁控濺射中海綿的傳動特性,建立瞭傳動控製的數學模型,採用帶有矢量的變頻調速器實現瞭海綿捲繞真空鍍膜過程中的張力控製,滿足瞭磁控濺射中海綿捲繞的傳動要求.
근거자공천사중해면적전동특성,건립료전동공제적수학모형,채용대유시량적변빈조속기실현료해면권요진공도막과정중적장력공제,만족료자공천사중해면권요적전동요구.
