化学学报
化學學報
화학학보
ACTA CHIMICA SINICA
2006年
20期
2046-2050
,共5页
郭冠伦%朱荣秀%张冬菊%刘成卜
郭冠倫%硃榮秀%張鼕菊%劉成蔔
곽관륜%주영수%장동국%류성복
二氧化硅%CFn(n=1～3)%反应机理%密度泛函
二氧化硅%CFn(n=1～3)%反應機理%密度汎函
이양화규%CFn(n=1～3)%반응궤리%밀도범함
用密度泛函理论在UB3LYP/6-31G(d)水平上研究了二元硅氧环与CFn(n=1～3)自由基的反应,弄清了微观反应机理,计算了反应的活化能和反应热.计算结果表明反应按两类相互竞争的机理进行:一类是不涉及C-F键断裂的反应,另一类是Si-O和C-F键同时断裂的反应.CF2自由基与二元硅氧环反应所需活化能最小、驱动力最大,是Si-O键最有效的刻蚀剂,与实验结果一致.
用密度汎函理論在UB3LYP/6-31G(d)水平上研究瞭二元硅氧環與CFn(n=1～3)自由基的反應,弄清瞭微觀反應機理,計算瞭反應的活化能和反應熱.計算結果錶明反應按兩類相互競爭的機理進行:一類是不涉及C-F鍵斷裂的反應,另一類是Si-O和C-F鍵同時斷裂的反應.CF2自由基與二元硅氧環反應所需活化能最小、驅動力最大,是Si-O鍵最有效的刻蝕劑,與實驗結果一緻.
용밀도범함이론재UB3LYP/6-31G(d)수평상연구료이원규양배여CFn(n=1～3)자유기적반응,롱청료미관반응궤리,계산료반응적활화능화반응열.계산결과표명반응안량류상호경쟁적궤리진행:일류시불섭급C-F건단렬적반응,령일류시Si-O화C-F건동시단렬적반응.CF2자유기여이원규양배반응소수활화능최소、구동력최대,시Si-O건최유효적각식제,여실험결과일치.
