中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2007年
2期
42-46
,共5页
尹清军%蒋百灵%陈迪春%张国君
尹清軍%蔣百靈%陳迪春%張國君
윤청군%장백령%진적춘%장국군
非平衡磁控溅射%类石墨镀层%微观组织%非晶
非平衡磁控濺射%類石墨鍍層%微觀組織%非晶
비평형자공천사%류석묵도층%미관조직%비정
利用非平衡磁控溅射系统制备了含微量Cr 的类石墨镀层,使用四点探针法测量所制备镀层的电阻率,测试结果表明所制备镀层工作层为类石墨层.使用SEM观察了镀层形貌,使用TEM及HRTEM观察了镀层的微观组织并利用选区电子衍射分析了镀层相结构,观察和分析结果表明:镀层表面质量良好,镀层的纯Cr金属底层为柱状晶结构,过渡层的晶体结构为非晶相中嵌有Cr纳米晶结构;工作层为非晶结构.测定了镀层的硬度、结合力,以及在不同载荷下的摩擦因数和比磨损率,测试结果表明:所制备镀层具有高硬度、高结合力、低摩擦因数和低比磨损率,且高载下比低载下有更低的摩擦因数.分析和讨论的结果还表明:工作层的非晶结构,是使所研究镀层具有高硬度、高结合力、低摩擦因数、低磨损率低的主要原因.
利用非平衡磁控濺射繫統製備瞭含微量Cr 的類石墨鍍層,使用四點探針法測量所製備鍍層的電阻率,測試結果錶明所製備鍍層工作層為類石墨層.使用SEM觀察瞭鍍層形貌,使用TEM及HRTEM觀察瞭鍍層的微觀組織併利用選區電子衍射分析瞭鍍層相結構,觀察和分析結果錶明:鍍層錶麵質量良好,鍍層的純Cr金屬底層為柱狀晶結構,過渡層的晶體結構為非晶相中嵌有Cr納米晶結構;工作層為非晶結構.測定瞭鍍層的硬度、結閤力,以及在不同載荷下的摩抆因數和比磨損率,測試結果錶明:所製備鍍層具有高硬度、高結閤力、低摩抆因數和低比磨損率,且高載下比低載下有更低的摩抆因數.分析和討論的結果還錶明:工作層的非晶結構,是使所研究鍍層具有高硬度、高結閤力、低摩抆因數、低磨損率低的主要原因.
이용비평형자공천사계통제비료함미량Cr 적류석묵도층,사용사점탐침법측량소제비도층적전조솔,측시결과표명소제비도층공작층위류석묵층.사용SEM관찰료도층형모,사용TEM급HRTEM관찰료도층적미관조직병이용선구전자연사분석료도층상결구,관찰화분석결과표명:도층표면질량량호,도층적순Cr금속저층위주상정결구,과도층적정체결구위비정상중감유Cr납미정결구;공작층위비정결구.측정료도층적경도、결합력,이급재불동재하하적마찰인수화비마손솔,측시결과표명:소제비도층구유고경도、고결합력、저마찰인수화저비마손솔,차고재하비저재하유경저적마찰인수.분석화토론적결과환표명:공작층적비정결구,시사소연구도층구유고경도、고결합력、저마찰인수、저마손솔저적주요원인.
