强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2007年
11期
1918-1922
,共5页
袁兆林%祖小涛%薛书文%张晓艳%余华军%向霞%居勇峰
袁兆林%祖小濤%薛書文%張曉豔%餘華軍%嚮霞%居勇峰
원조림%조소도%설서문%장효염%여화군%향하%거용봉
ZnO薄膜%离子注入%退火温度%吸收%光致发光
ZnO薄膜%離子註入%退火溫度%吸收%光緻髮光
ZnO박막%리자주입%퇴화온도%흡수%광치발광
利用溶胶凝胶方法在石英玻璃衬底上制备了ZnO薄膜,将能量56 keV、剂量1×1017 cm-2的Zn离子注入到薄膜中.离子注入后,薄膜在500～900 ℃的氩气中退火,利用X射线衍射谱、光致发光谱和光吸收谱研究了离子注入和退火对ZnO薄膜结构和光学性质的影响.结果显示:衍射峰在约700 ℃退火后得到恢复;当退火温度小于600 ℃时,吸收边随着退火温度的提高发生蓝移,超过600 ℃时,吸收边随着退火温度的提高发生红移;近带边激子发光和深能级缺陷发光都随退火温度的提高而增强.
利用溶膠凝膠方法在石英玻璃襯底上製備瞭ZnO薄膜,將能量56 keV、劑量1×1017 cm-2的Zn離子註入到薄膜中.離子註入後,薄膜在500～900 ℃的氬氣中退火,利用X射線衍射譜、光緻髮光譜和光吸收譜研究瞭離子註入和退火對ZnO薄膜結構和光學性質的影響.結果顯示:衍射峰在約700 ℃退火後得到恢複;噹退火溫度小于600 ℃時,吸收邊隨著退火溫度的提高髮生藍移,超過600 ℃時,吸收邊隨著退火溫度的提高髮生紅移;近帶邊激子髮光和深能級缺陷髮光都隨退火溫度的提高而增彊.
이용용효응효방법재석영파리츤저상제비료ZnO박막,장능량56 keV、제량1×1017 cm-2적Zn리자주입도박막중.리자주입후,박막재500～900 ℃적아기중퇴화,이용X사선연사보、광치발광보화광흡수보연구료리자주입화퇴화대ZnO박막결구화광학성질적영향.결과현시:연사봉재약700 ℃퇴화후득도회복;당퇴화온도소우600 ℃시,흡수변수착퇴화온도적제고발생람이,초과600 ℃시,흡수변수착퇴화온도적제고발생홍이;근대변격자발광화심능급결함발광도수퇴화온도적제고이증강.
