能源环境保护
能源環境保護
능원배경보호
COAL MINE ENVIRONMENTAL PROTECTION
2011年
1期
16-18,22
,共4页
邓寅生%刘少辉%文广超%许江涛%黄研
鄧寅生%劉少輝%文廣超%許江濤%黃研
산인생%류소휘%문엄초%허강도%황연
硅烷%热分解%工业硅
硅烷%熱分解%工業硅
규완%열분해%공업규
现阶段制备工业硅所用的改良西门子方法存在能耗高和污染重的问题,因此寻求能耗低、环境友好型工业硅制备方法是必然趋势.通过硅烷分解实验对硅烷热分解法制备工业硅的几个影响因素做了分析,并简要讨论了各个因素对硅烷热分解的影响.得出硅烷热分解的最佳条件是硅烷浓度0.25%,裁气流量为200 L/h,分解温度850℃,分解压强0.35kPa.在此条件下硅的沉积率89.3%.
現階段製備工業硅所用的改良西門子方法存在能耗高和汙染重的問題,因此尋求能耗低、環境友好型工業硅製備方法是必然趨勢.通過硅烷分解實驗對硅烷熱分解法製備工業硅的幾箇影響因素做瞭分析,併簡要討論瞭各箇因素對硅烷熱分解的影響.得齣硅烷熱分解的最佳條件是硅烷濃度0.25%,裁氣流量為200 L/h,分解溫度850℃,分解壓彊0.35kPa.在此條件下硅的沉積率89.3%.
현계단제비공업규소용적개량서문자방법존재능모고화오염중적문제,인차심구능모저、배경우호형공업규제비방법시필연추세.통과규완분해실험대규완열분해법제비공업규적궤개영향인소주료분석,병간요토론료각개인소대규완열분해적영향.득출규완열분해적최가조건시규완농도0.25%,재기류량위200 L/h,분해온도850℃,분해압강0.35kPa.재차조건하규적침적솔89.3%.
