激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2011年
5期
610-612,631
,共4页
高冬美%陆绮荣%韦艳冰%黄彬
高鼕美%陸綺榮%韋豔冰%黃彬
고동미%륙기영%위염빙%황빈
激光技术%少数载流子寿命%微波光电导%4H-SiC%注入水平
激光技術%少數載流子壽命%微波光電導%4H-SiC%註入水平
격광기술%소수재류자수명%미파광전도%4H-SiC%주입수평
为了更好地了解N型4H-SiC的电学特性,评价其晶体质量,采用激光技术和微波光电导作为非接触、非破坏性测量半导体特性的一种工具,描述了其测试原理和实验装置,并讨论了不同的激发强度下,其少数载流子寿命的变化.结果表明,改变入射激光能量(即光子注入水平),样品电压峰值与激发强度成正比,对其载流子寿命几乎没有影响.该方法能方便快捷地测量载流子的寿命,对SiC材料性能的研究具有重要意义.
為瞭更好地瞭解N型4H-SiC的電學特性,評價其晶體質量,採用激光技術和微波光電導作為非接觸、非破壞性測量半導體特性的一種工具,描述瞭其測試原理和實驗裝置,併討論瞭不同的激髮彊度下,其少數載流子壽命的變化.結果錶明,改變入射激光能量(即光子註入水平),樣品電壓峰值與激髮彊度成正比,對其載流子壽命幾乎沒有影響.該方法能方便快捷地測量載流子的壽命,對SiC材料性能的研究具有重要意義.
위료경호지료해N형4H-SiC적전학특성,평개기정체질량,채용격광기술화미파광전도작위비접촉、비파배성측량반도체특성적일충공구,묘술료기측시원리화실험장치,병토론료불동적격발강도하,기소수재류자수명적변화.결과표명,개변입사격광능량(즉광자주입수평),양품전압봉치여격발강도성정비,대기재류자수명궤호몰유영향.해방법능방편쾌첩지측량재류자적수명,대SiC재료성능적연구구유중요의의.
