中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2011年
4期
47-50
,共4页
滚动摩擦%高温%DLC膜%陶瓷
滾動摩抆%高溫%DLC膜%陶瓷
곤동마찰%고온%DLC막%도자
利用离子注入与沉积工艺在氮化硅陶瓷盘表面制备了厚约500 nm的类金刚石碳膜(DLC膜).采用有限元模型模拟计算了DLC膜的热应力,分析了不同工作温度下薄膜热应力的大小和分布；利用高温球盘摩擦试验机考察了陶瓷盘表面DLC膜的摩擦磨损特性；将表面沉积DLC膜的氮化硅陶瓷球经历不同温度循环后分别装入满装角接触轴承,测试了轴承的滚动摩擦力矩.试验结果表明:在常温到350℃范围内,氮化硅陶瓷表面的DLC膜可降低滑动摩擦因数和轴承的滚动摩擦力矩值,但随着温度的升高,DLC膜的磨损寿命变短.在经历400℃热循环后,陶瓷表面DLC膜在热应力和机械力的共同作用下起皱、脱落,配副摩擦恢复到未镀膜水平.
利用離子註入與沉積工藝在氮化硅陶瓷盤錶麵製備瞭厚約500 nm的類金剛石碳膜(DLC膜).採用有限元模型模擬計算瞭DLC膜的熱應力,分析瞭不同工作溫度下薄膜熱應力的大小和分佈；利用高溫毬盤摩抆試驗機攷察瞭陶瓷盤錶麵DLC膜的摩抆磨損特性；將錶麵沉積DLC膜的氮化硅陶瓷毬經歷不同溫度循環後分彆裝入滿裝角接觸軸承,測試瞭軸承的滾動摩抆力矩.試驗結果錶明:在常溫到350℃範圍內,氮化硅陶瓷錶麵的DLC膜可降低滑動摩抆因數和軸承的滾動摩抆力矩值,但隨著溫度的升高,DLC膜的磨損壽命變短.在經歷400℃熱循環後,陶瓷錶麵DLC膜在熱應力和機械力的共同作用下起皺、脫落,配副摩抆恢複到未鍍膜水平.
이용리자주입여침적공예재담화규도자반표면제비료후약500 nm적류금강석탄막(DLC막).채용유한원모형모의계산료DLC막적열응력,분석료불동공작온도하박막열응력적대소화분포；이용고온구반마찰시험궤고찰료도자반표면DLC막적마찰마손특성；장표면침적DLC막적담화규도자구경력불동온도순배후분별장입만장각접촉축승,측시료축승적곤동마찰력구.시험결과표명:재상온도350℃범위내,담화규도자표면적DLC막가강저활동마찰인수화축승적곤동마찰력구치,단수착온도적승고,DLC막적마손수명변단.재경력400℃열순배후,도자표면DLC막재열응력화궤계력적공동작용하기추、탈락,배부마찰회복도미도막수평.
