农业机械学报
農業機械學報
농업궤계학보
TRANSACTIONS OF THE CHINESE SOCIETY OF AGRICULTURAL MACHINERY
2011年
4期
220-223,233
,共5页
刘定强%黄玉美%谢礼%杨勇
劉定彊%黃玉美%謝禮%楊勇
류정강%황옥미%사례%양용
宏微驱动%弹性铰%压电驱动器%点位协调控制
宏微驅動%彈性鉸%壓電驅動器%點位協調控製
굉미구동%탄성교%압전구동기%점위협조공제
设计了基于压电型微驱动器的宏微双驱动精密定位系统,宏动台由伺服电动机直接驱动,微动台由压电陶瓷驱动器和弹性铰链构成,并由压电陶瓷驱动器驱动.微动台安装在宏动台上,微动台和宏动台是串联关系.宏动台用于实现大行程微米级定位,而纳米级定位由微动台实现.利用基于运动控制卡的开放伺服功能来协调宏微工作台之间的控制,而位置反馈由两个高精度光栅完成,精度检测由激光干涉仪完成.当宏动台运动结束后,微动台根据测得的定位误差做出补偿进给.实验表明,在行程100 mm的范围内每隔1 mm采集一点,误差控制在±100 nm以内.
設計瞭基于壓電型微驅動器的宏微雙驅動精密定位繫統,宏動檯由伺服電動機直接驅動,微動檯由壓電陶瓷驅動器和彈性鉸鏈構成,併由壓電陶瓷驅動器驅動.微動檯安裝在宏動檯上,微動檯和宏動檯是串聯關繫.宏動檯用于實現大行程微米級定位,而納米級定位由微動檯實現.利用基于運動控製卡的開放伺服功能來協調宏微工作檯之間的控製,而位置反饋由兩箇高精度光柵完成,精度檢測由激光榦涉儀完成.噹宏動檯運動結束後,微動檯根據測得的定位誤差做齣補償進給.實驗錶明,在行程100 mm的範圍內每隔1 mm採集一點,誤差控製在±100 nm以內.
설계료기우압전형미구동기적굉미쌍구동정밀정위계통,굉동태유사복전동궤직접구동,미동태유압전도자구동기화탄성교련구성,병유압전도자구동기구동.미동태안장재굉동태상,미동태화굉동태시천련관계.굉동태용우실현대행정미미급정위,이납미급정위유미동태실현.이용기우운동공제잡적개방사복공능래협조굉미공작태지간적공제,이위치반궤유량개고정도광책완성,정도검측유격광간섭의완성.당굉동태운동결속후,미동태근거측득적정위오차주출보상진급.실험표명,재행정100 mm적범위내매격1 mm채집일점,오차공제재±100 nm이내.
