中国测试
中國測試
중국측시
CHINA MEASUREMENT & TEST
2012年
2期
42-45
,共4页
郭伟%汪荣青%胡俊强%李顶根
郭偉%汪榮青%鬍俊彊%李頂根
곽위%왕영청%호준강%리정근
热学%最佳距离%温度场分析%加速度%热对流%单轴%六面体腔
熱學%最佳距離%溫度場分析%加速度%熱對流%單軸%六麵體腔
열학%최가거리%온도장분석%가속도%열대류%단축%륙면체강
为优化微机械热对流加速度计的结构布置和加工流程,提高其测量精度和灵敏度,采用了成本低廉、技术成熟的“牺牲层”技术和Si-SiO2-SiO2-Si键合技术设计制作了六面体腔型式的微机械热对流加速度计模型,并通过对这种结构的模型进行温度场分析.当微机械热对流加速度计具有最高的灵敏度时,热敏元件与加热元件的最佳距离区间为[430 μm,440 μm].
為優化微機械熱對流加速度計的結構佈置和加工流程,提高其測量精度和靈敏度,採用瞭成本低廉、技術成熟的“犧牲層”技術和Si-SiO2-SiO2-Si鍵閤技術設計製作瞭六麵體腔型式的微機械熱對流加速度計模型,併通過對這種結構的模型進行溫度場分析.噹微機械熱對流加速度計具有最高的靈敏度時,熱敏元件與加熱元件的最佳距離區間為[430 μm,440 μm].
위우화미궤계열대류가속도계적결구포치화가공류정,제고기측량정도화령민도,채용료성본저렴、기술성숙적“희생층”기술화Si-SiO2-SiO2-Si건합기술설계제작료륙면체강형식적미궤계열대류가속도계모형,병통과대저충결구적모형진행온도장분석.당미궤계열대류가속도계구유최고적령민도시,열민원건여가열원건적최가거리구간위[430 μm,440 μm].
