光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2012年
5期
511-515
,共5页
林旭东%刘欣悦%王建立%卫沛锋%王富国
林旭東%劉訢悅%王建立%衛沛鋒%王富國
림욱동%류흔열%왕건립%위패봉%왕부국
自适应光学%变形镜%展平标定%干涉仪
自適應光學%變形鏡%展平標定%榦涉儀
자괄응광학%변형경%전평표정%간섭의
为了全面地了解变形镜的性能,以便自适应光学系统更好地工作,进行了基于干涉仪测量的变形镜面形展平标定研究,首先,给变形镜的压电陶瓷驱动器施加一半的控制电压；再用Zygo干涉仪测得变形镜的面形,计算对应各个驱动器位置的镜面高度,并算得各个位置镜面高度相对平均镜面高度的偏差；最后,控制驱动器运动使偏差量为零.测试及实验表明,受压电陶瓷迟滞的影响,上述过程需要迭代4到6次镜面面形才会收敛到希望的准确度；对镜面周边无驱动器约束的21单元变形镜,展平之后其80％口径的面形接近λ/20(λ=632.8 nm)；对镜面周边有驱动器约束的137单元变形镜,展平后的面形优于λ/50.在望远镜不同的观测条件下,该技术可以快速地对变形镜进行展平标定,以适应不同的工作环境.
為瞭全麵地瞭解變形鏡的性能,以便自適應光學繫統更好地工作,進行瞭基于榦涉儀測量的變形鏡麵形展平標定研究,首先,給變形鏡的壓電陶瓷驅動器施加一半的控製電壓；再用Zygo榦涉儀測得變形鏡的麵形,計算對應各箇驅動器位置的鏡麵高度,併算得各箇位置鏡麵高度相對平均鏡麵高度的偏差；最後,控製驅動器運動使偏差量為零.測試及實驗錶明,受壓電陶瓷遲滯的影響,上述過程需要迭代4到6次鏡麵麵形纔會收斂到希望的準確度；對鏡麵週邊無驅動器約束的21單元變形鏡,展平之後其80％口徑的麵形接近λ/20(λ=632.8 nm)；對鏡麵週邊有驅動器約束的137單元變形鏡,展平後的麵形優于λ/50.在望遠鏡不同的觀測條件下,該技術可以快速地對變形鏡進行展平標定,以適應不同的工作環境.
위료전면지료해변형경적성능,이편자괄응광학계통경호지공작,진행료기우간섭의측량적변형경면형전평표정연구,수선,급변형경적압전도자구동기시가일반적공제전압；재용Zygo간섭의측득변형경적면형,계산대응각개구동기위치적경면고도,병산득각개위치경면고도상대평균경면고도적편차；최후,공제구동기운동사편차량위령.측시급실험표명,수압전도자지체적영향,상술과정수요질대4도6차경면면형재회수렴도희망적준학도；대경면주변무구동기약속적21단원변형경,전평지후기80％구경적면형접근λ/20(λ=632.8 nm)；대경면주변유구동기약속적137단원변형경,전평후적면형우우λ/50.재망원경불동적관측조건하,해기술가이쾌속지대변형경진행전평표정,이괄응불동적공작배경.
