仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2003年
1期
8-9,25
,共3页
黄树森%李昕欣%王跃林%鲍敏杭
黃樹森%李昕訢%王躍林%鮑敏杭
황수삼%리흔흔%왕약림%포민항
微电子机械系统%微传感器%微执行器%微机械技术
微電子機械繫統%微傳感器%微執行器%微機械技術
미전자궤계계통%미전감기%미집행기%미궤계기술
在分析MEMS(微电子机械系统)传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后,提出了MEMS传感器技术实用化的关键--提高器件性能满足应用要求.根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构、制作工艺和器件工作原理等具体措施对提高器件性能的作用.
在分析MEMS(微電子機械繫統)傳感器噹前的髮展現狀、特點特彆是在器件實用化和產品化進程中所麵臨的挑戰後,提齣瞭MEMS傳感器技術實用化的關鍵--提高器件性能滿足應用要求.根據研究經歷舉例說明改進傳感器材料、結構、製作工藝和器件工作原理等具體措施對提高器件性能的作用.
재분석MEMS(미전자궤계계통)전감기당전적발전현상、특점특별시재기건실용화화산품화진정중소면림적도전후,제출료MEMS전감기기술실용화적관건--제고기건성능만족응용요구.근거연구경력거례설명개진전감기재료、결구、제작공예화기건공작원리등구체조시대제고기건성능적작용.
