物理学进展
物理學進展
물이학진전
PROGRESS IN PHYSICS
2004年
4期
424-435
,共12页
微/纳米尺度%热导率%声子玻尔兹曼传输方程%分子动力学
微/納米呎度%熱導率%聲子玻爾玆曼傳輸方程%分子動力學
미/납미척도%열도솔%성자파이자만전수방정%분자동역학
随着半导体技术的飞速发展,器件的尺寸已进入到微/纳米尺度.由于量子效应、表面及界面效应,使得微尺度下的热物性与宏观尺度下有了明显的区别.人们针对微观传热领域的特点,发展了声子玻尔兹曼传输方程、分子动力学等方法,取得了一定的成果,但仍存在不少问题.一些基础概念问题,特别是非平衡态下的局域温度的定义,有待澄清.本文主要回顾近年来微/纳米尺度传热在理论和数值模拟方面的进展,以及目前所面临的挑战和问题.
隨著半導體技術的飛速髮展,器件的呎吋已進入到微/納米呎度.由于量子效應、錶麵及界麵效應,使得微呎度下的熱物性與宏觀呎度下有瞭明顯的區彆.人們針對微觀傳熱領域的特點,髮展瞭聲子玻爾玆曼傳輸方程、分子動力學等方法,取得瞭一定的成果,但仍存在不少問題.一些基礎概唸問題,特彆是非平衡態下的跼域溫度的定義,有待澄清.本文主要迴顧近年來微/納米呎度傳熱在理論和數值模擬方麵的進展,以及目前所麵臨的挑戰和問題.
수착반도체기술적비속발전,기건적척촌이진입도미/납미척도.유우양자효응、표면급계면효응,사득미척도하적열물성여굉관척도하유료명현적구별.인문침대미관전열영역적특점,발전료성자파이자만전수방정、분자동역학등방법,취득료일정적성과,단잉존재불소문제.일사기출개념문제,특별시비평형태하적국역온도적정의,유대징청.본문주요회고근년래미/납미척도전열재이론화수치모의방면적진전,이급목전소면림적도전화문제.