半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2004年
5期
388-390
,共3页
微光学元件%菲涅耳波带片%聚焦光栅
微光學元件%菲涅耳波帶片%聚焦光柵
미광학원건%비열이파대편%취초광책
根据菲涅耳衍射理论,采用微光学制作技术通过3次套刻,将8位相台阶的菲涅耳波带片和平面光栅组合制作在同一块基片上,构成同时具有色散分光和聚焦光谱线功能的位相型光栅.这种光栅具有较高的光谱分辨本领和衍射效率,而且光路简单,调节方便.实验测出的衍射效率大于71%.
根據菲涅耳衍射理論,採用微光學製作技術通過3次套刻,將8位相檯階的菲涅耳波帶片和平麵光柵組閤製作在同一塊基片上,構成同時具有色散分光和聚焦光譜線功能的位相型光柵.這種光柵具有較高的光譜分辨本領和衍射效率,而且光路簡單,調節方便.實驗測齣的衍射效率大于71%.
근거비열이연사이론,채용미광학제작기술통과3차투각,장8위상태계적비열이파대편화평면광책조합제작재동일괴기편상,구성동시구유색산분광화취초광보선공능적위상형광책.저충광책구유교고적광보분변본령화연사효솔,이차광로간단,조절방편.실험측출적연사효솔대우71%.
