浙江大学学报（工学版）
浙江大學學報（工學版）
절강대학학보（공학판）
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY(ENGINEERING SCIENCE)
2006年
1期
49-52
,共4页
梁宜勇%顾智企%章哲明%闫玮%杨国光
樑宜勇%顧智企%章哲明%閆瑋%楊國光
량의용%고지기%장철명%염위%양국광
过曝光%高斯光束%曝光量%线宽
過曝光%高斯光束%曝光量%線寬
과폭광%고사광속%폭광량%선관
在利用激光图形发生器制备微细图形时,为获得稳定的线条宽度,提出一种对薄胶层进行过曝光的技术.准直光束经物镜会聚后光斑的能量呈近似高斯分布,当胶层的曝光量阈值远离高斯型曝光量曲线的头部时,可以弱化线宽对实际曝光量或胶层曝光量阈值等变化的敏感度,从而提高线宽的稳定度.在涂有0.6 μm薄胶的基片上,采用渐变曝光量的方法,利用激光束直写技术制取了一组短弧线,对线宽的测试结果表明,线宽与曝光量关系的实验性曲线和理论模型能较好地吻合.过曝光技术对线宽稳定度要求较高的器件,比如具有螺线波导的集成光学陀螺的制作有较重要价值.
在利用激光圖形髮生器製備微細圖形時,為穫得穩定的線條寬度,提齣一種對薄膠層進行過曝光的技術.準直光束經物鏡會聚後光斑的能量呈近似高斯分佈,噹膠層的曝光量閾值遠離高斯型曝光量麯線的頭部時,可以弱化線寬對實際曝光量或膠層曝光量閾值等變化的敏感度,從而提高線寬的穩定度.在塗有0.6 μm薄膠的基片上,採用漸變曝光量的方法,利用激光束直寫技術製取瞭一組短弧線,對線寬的測試結果錶明,線寬與曝光量關繫的實驗性麯線和理論模型能較好地吻閤.過曝光技術對線寬穩定度要求較高的器件,比如具有螺線波導的集成光學陀螺的製作有較重要價值.
재이용격광도형발생기제비미세도형시,위획득은정적선조관도,제출일충대박효층진행과폭광적기술.준직광속경물경회취후광반적능량정근사고사분포,당효층적폭광량역치원리고사형폭광량곡선적두부시,가이약화선관대실제폭광량혹효층폭광량역치등변화적민감도,종이제고선관적은정도.재도유0.6 μm박효적기편상,채용점변폭광량적방법,이용격광속직사기술제취료일조단호선,대선관적측시결과표명,선관여폭광량관계적실험성곡선화이론모형능교호지문합.과폭광기술대선관은정도요구교고적기건,비여구유라선파도적집성광학타라적제작유교중요개치.
