物理学报
物理學報
물이학보
2006年
11期
5905-5908
,共4页
刘明海%菅井秀郎%胡希伟%石岛芳夫%江中和%李斌%但敏
劉明海%菅井秀郎%鬍希偉%石島芳伕%江中和%李斌%但敏
류명해%관정수랑%호희위%석도방부%강중화%리빈%단민
表面波等离子体%狭缝天线%数值模拟%探针测量
錶麵波等離子體%狹縫天線%數值模擬%探針測量
표면파등리자체%협봉천선%수치모의%탐침측량
介绍一种矩形反应腔体结构的表面波等离子体源,通过对垫层介质及天线结构的优化设计,产生了大面积均匀的等离子体.采用静电探针测量了等离子体参数(密度,电子温度)在不同运行条件(气压,功率)下的空间分布;采用扩散模型,数值模拟了等离子体密度在垂直方向上的空间分布,并比较好地解释了实验测量结果.
介紹一種矩形反應腔體結構的錶麵波等離子體源,通過對墊層介質及天線結構的優化設計,產生瞭大麵積均勻的等離子體.採用靜電探針測量瞭等離子體參數(密度,電子溫度)在不同運行條件(氣壓,功率)下的空間分佈;採用擴散模型,數值模擬瞭等離子體密度在垂直方嚮上的空間分佈,併比較好地解釋瞭實驗測量結果.
개소일충구형반응강체결구적표면파등리자체원,통과대점층개질급천선결구적우화설계,산생료대면적균균적등리자체.채용정전탐침측량료등리자체삼수(밀도,전자온도)재불동운행조건(기압,공솔)하적공간분포;채용확산모형,수치모의료등리자체밀도재수직방향상적공간분포,병비교호지해석료실험측량결과.
