功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2010年
6期
600-604
,共5页
赵海娇%王丛%石晓光%刁训刚
趙海嬌%王叢%石曉光%刁訓剛
조해교%왕총%석효광%조훈강
ITO透明导电膜%直流磁控溅射%室温沉积%靶材倾斜角度
ITO透明導電膜%直流磁控濺射%室溫沉積%靶材傾斜角度
ITO투명도전막%직류자공천사%실온침적%파재경사각도
利用直流磁控溅射方法,在Ar和O2的混合气氛中,采用陶瓷靶制备ITO薄膜;采用紫外-可见-红外分光光度计和四探针法研究了溅射工艺参数对ITO薄膜的光电特性的影响.实验结果表明,当靶材角度在23-25℃、O2流量在7-9sccm、溅射时间在60-90min和溅射功率在100-120W时获得可见光透过率高于90%,方阻在10-20Ω/口之间的优质ITO薄膜.
利用直流磁控濺射方法,在Ar和O2的混閤氣氛中,採用陶瓷靶製備ITO薄膜;採用紫外-可見-紅外分光光度計和四探針法研究瞭濺射工藝參數對ITO薄膜的光電特性的影響.實驗結果錶明,噹靶材角度在23-25℃、O2流量在7-9sccm、濺射時間在60-90min和濺射功率在100-120W時穫得可見光透過率高于90%,方阻在10-20Ω/口之間的優質ITO薄膜.
이용직류자공천사방법,재Ar화O2적혼합기분중,채용도자파제비ITO박막;채용자외-가견-홍외분광광도계화사탐침법연구료천사공예삼수대ITO박막적광전특성적영향.실험결과표명,당파재각도재23-25℃、O2류량재7-9sccm、천사시간재60-90min화천사공솔재100-120W시획득가견광투과솔고우90%,방조재10-20Ω/구지간적우질ITO박막.
