传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
1期
13-15
,共3页
王晓兵%李培%娄向东%赵晓华%王学锋
王曉兵%李培%婁嚮東%趙曉華%王學鋒
왕효병%리배%루향동%조효화%왕학봉
In2O3纳米粉体%Fe掺杂%水热法%气敏性质
In2O3納米粉體%Fe摻雜%水熱法%氣敏性質
In2O3납미분체%Fe참잡%수열법%기민성질
对 In2O3 粉体进行 Fe 掺杂,采用水热法合成了In2O3 粉体.通过 X 射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM),透射电子显微镜(TEM)等手段对粉体的物相、形貌、粒度等进行表征.TEM 图表明:质量分数为7 %Fe 掺杂的样品为均匀排列的棒,长度约为 300～500nm,宽度约 20 nm.对样品进行气敏性能研究,结果表明:质量分数为 7 %Fe 掺杂的 In2O3 气敏元件,当工作温度为 125℃时,对 100×10-6>Cl2 的灵敏度高达 182.75.元件对 10×10-6Cl2的灵敏度为 17.9,可以检测到低体积分数的 Cl2.并具有选择性好、响应-恢复时间短等特性.
對 In2O3 粉體進行 Fe 摻雜,採用水熱法閤成瞭In2O3 粉體.通過 X 射線衍射(XRD),掃描電鏡(SEM),透射電子顯微鏡(TEM)等手段對粉體的物相、形貌、粒度等進行錶徵.TEM 圖錶明:質量分數為7 %Fe 摻雜的樣品為均勻排列的棒,長度約為 300～500nm,寬度約 20 nm.對樣品進行氣敏性能研究,結果錶明:質量分數為 7 %Fe 摻雜的 In2O3 氣敏元件,噹工作溫度為 125℃時,對 100×10-6>Cl2 的靈敏度高達 182.75.元件對 10×10-6Cl2的靈敏度為 17.9,可以檢測到低體積分數的 Cl2.併具有選擇性好、響應-恢複時間短等特性.
대 In2O3 분체진행 Fe 참잡,채용수열법합성료In2O3 분체.통과 X 사선연사(XRD),소묘전경(SEM),투사전자현미경(TEM)등수단대분체적물상、형모、립도등진행표정.TEM 도표명:질량분수위7 %Fe 참잡적양품위균균배렬적봉,장도약위 300～500nm,관도약 20 nm.대양품진행기민성능연구,결과표명:질량분수위 7 %Fe 참잡적 In2O3 기민원건,당공작온도위 125℃시,대 100×10-6>Cl2 적령민도고체 182.75.원건대 10×10-6Cl2적령민도위 17.9,가이검측도저체적분수적 Cl2.병구유선택성호、향응-회복시간단등특성.
