光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
1期
75-78
,共4页
杨春华%夏文建%李蓬%余文峰%程祖海
楊春華%夏文建%李蓬%餘文峰%程祖海
양춘화%하문건%리봉%여문봉%정조해
光学薄膜%膜厚监控%复合监控%TEACO2激光器
光學薄膜%膜厚鑑控%複閤鑑控%TEACO2激光器
광학박막%막후감공%복합감공%TEACO2격광기
比较了光学薄膜淀积过程中的晶振监控和光学监控各自的优缺点,提出了一种有效利用这两种监控方法各自优点的复合监控方法,利用该复合监控方法采用离子辅助镀工艺镀制的TEA CO2激光器增透膜,其透射率高于99.5%,且具有良好的稳定性和重复性.
比較瞭光學薄膜澱積過程中的晶振鑑控和光學鑑控各自的優缺點,提齣瞭一種有效利用這兩種鑑控方法各自優點的複閤鑑控方法,利用該複閤鑑控方法採用離子輔助鍍工藝鍍製的TEA CO2激光器增透膜,其透射率高于99.5%,且具有良好的穩定性和重複性.
비교료광학박막정적과정중적정진감공화광학감공각자적우결점,제출료일충유효이용저량충감공방법각자우점적복합감공방법,이용해복합감공방법채용리자보조도공예도제적TEA CO2격광기증투막,기투사솔고우99.5%,차구유량호적은정성화중복성.
