激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2007年
6期
548-551
,共4页
周杨%梁海锋%严一心%蔡长龙
週楊%樑海鋒%嚴一心%蔡長龍
주양%량해봉%엄일심%채장룡
椭偏仪%AlN薄膜%光学常数
橢偏儀%AlN薄膜%光學常數
타편의%AlN박막%광학상수
文章采用真空磁过滤电弧离子镀法在单晶Si(100)基片上成功制备了氮化铝(AlN)薄膜,并利用椭偏法对AlN膜进行了研究.根据沉积方法的特点,建立合适的膜系进行拟合,得到薄膜的折射率、消光系数和几何厚度;分析薄膜与基片之间的附着方式为简单附着,以及引起薄膜材料比块体材料折射率偏小的原因为:薄膜中含有空隙,Al/N不符合化学剂量比,薄膜表面形成了Al2O3钝化层.
文章採用真空磁過濾電弧離子鍍法在單晶Si(100)基片上成功製備瞭氮化鋁(AlN)薄膜,併利用橢偏法對AlN膜進行瞭研究.根據沉積方法的特點,建立閤適的膜繫進行擬閤,得到薄膜的摺射率、消光繫數和幾何厚度;分析薄膜與基片之間的附著方式為簡單附著,以及引起薄膜材料比塊體材料摺射率偏小的原因為:薄膜中含有空隙,Al/N不符閤化學劑量比,薄膜錶麵形成瞭Al2O3鈍化層.
문장채용진공자과려전호리자도법재단정Si(100)기편상성공제비료담화려(AlN)박막,병이용타편법대AlN막진행료연구.근거침적방법적특점,건립합괄적막계진행의합,득도박막적절사솔、소광계수화궤하후도;분석박막여기편지간적부착방식위간단부착,이급인기박막재료비괴체재료절사솔편소적원인위:박막중함유공극,Al/N불부합화학제량비,박막표면형성료Al2O3둔화층.
