中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2008年
3期
448-451
,共4页
张恒%周云%方宗豹%陈林森
張恆%週雲%方宗豹%陳林森
장항%주운%방종표%진림삼
激光技术%纳秒激光%微光栅结构%刻蚀%镜面不锈钢
激光技術%納秒激光%微光柵結構%刻蝕%鏡麵不鏽鋼
격광기술%납초격광%미광책결구%각식%경면불수강
研究了利用波长为532 nm的激光二极管抽运全固态激光器(DPSSL),采用双光束干涉手段,在镜面不锈钢表面直接刻蚀形成微光栅结构(MGS)的方法.通过实验,分析了激光功率、光束口径、双光束干涉角与光栅槽深和占宽比之间的关系.利用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)对实验结果的检测分析表明,在激光功率为45 mW,双光束干涉角为20°的条件下,得到光栅周期为1.34 μm,槽深为300 nm的最佳微光栅结构.同时,在适当激光功率下,增加光栅周期,增加光束口径都能提高光栅槽深.
研究瞭利用波長為532 nm的激光二極管抽運全固態激光器(DPSSL),採用雙光束榦涉手段,在鏡麵不鏽鋼錶麵直接刻蝕形成微光柵結構(MGS)的方法.通過實驗,分析瞭激光功率、光束口徑、雙光束榦涉角與光柵槽深和佔寬比之間的關繫.利用光學顯微鏡和原子力顯微鏡(AFM)對實驗結果的檢測分析錶明,在激光功率為45 mW,雙光束榦涉角為20°的條件下,得到光柵週期為1.34 μm,槽深為300 nm的最佳微光柵結構.同時,在適噹激光功率下,增加光柵週期,增加光束口徑都能提高光柵槽深.
연구료이용파장위532 nm적격광이겁관추운전고태격광기(DPSSL),채용쌍광속간섭수단,재경면불수강표면직접각식형성미광책결구(MGS)적방법.통과실험,분석료격광공솔、광속구경、쌍광속간섭각여광책조심화점관비지간적관계.이용광학현미경화원자력현미경(AFM)대실험결과적검측분석표명,재격광공솔위45 mW,쌍광속간섭각위20°적조건하,득도광책주기위1.34 μm,조심위300 nm적최가미광책결구.동시,재괄당격광공솔하,증가광책주기,증가광속구경도능제고광책조심.
