光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2008年
7期
1684-1688
,共5页
张洁%黄尚廉%张智海%孙吉勇%史玲娜%朱永
張潔%黃尚廉%張智海%孫吉勇%史玲娜%硃永
장길%황상렴%장지해%손길용%사령나%주영
光谱%光调制器%微间距%微机电系统
光譜%光調製器%微間距%微機電繫統
광보%광조제기%미간거%미궤전계통
基于MEMS的光栅平动式光调制器(GMLM)依靠结构中可动光栅和下反射镜之间的微间距的变化来实现光的调制作用,被应用于显示领域.可动光栅和下反射镜之间的微间距是一个关键的参数,传统的测试方法如台阶仪等要破坏结构,WYKO白光干涉仪测量成本高,所以要寻求一种测试成本较低、测量精度较高的测试方法.文章采用非接触的波长扫描式光谱分析方法进行了GMLM可动光栅和下反射镜之间的微间距测试实验研究.实验表明:实验结果和理论分析吻合,验证了理论模型的正确性;对比WYKO白光干涉仪测试,该方法的相对测试误差小于1%;具有很好的重复性.对该光谱分析方法进行了推广,从理论上推导了该方法可以实现准动态测量GMLM器件吸合电压、共振频率以及其他基于衍射/干涉的MEMS器件的微小问距测试等.
基于MEMS的光柵平動式光調製器(GMLM)依靠結構中可動光柵和下反射鏡之間的微間距的變化來實現光的調製作用,被應用于顯示領域.可動光柵和下反射鏡之間的微間距是一箇關鍵的參數,傳統的測試方法如檯階儀等要破壞結構,WYKO白光榦涉儀測量成本高,所以要尋求一種測試成本較低、測量精度較高的測試方法.文章採用非接觸的波長掃描式光譜分析方法進行瞭GMLM可動光柵和下反射鏡之間的微間距測試實驗研究.實驗錶明:實驗結果和理論分析吻閤,驗證瞭理論模型的正確性;對比WYKO白光榦涉儀測試,該方法的相對測試誤差小于1%;具有很好的重複性.對該光譜分析方法進行瞭推廣,從理論上推導瞭該方法可以實現準動態測量GMLM器件吸閤電壓、共振頻率以及其他基于衍射/榦涉的MEMS器件的微小問距測試等.
기우MEMS적광책평동식광조제기(GMLM)의고결구중가동광책화하반사경지간적미간거적변화래실현광적조제작용,피응용우현시영역.가동광책화하반사경지간적미간거시일개관건적삼수,전통적측시방법여태계의등요파배결구,WYKO백광간섭의측량성본고,소이요심구일충측시성본교저、측량정도교고적측시방법.문장채용비접촉적파장소묘식광보분석방법진행료GMLM가동광책화하반사경지간적미간거측시실험연구.실험표명:실험결과화이론분석문합,험증료이론모형적정학성;대비WYKO백광간섭의측시,해방법적상대측시오차소우1%;구유흔호적중복성.대해광보분석방법진행료추엄,종이론상추도료해방법가이실현준동태측량GMLM기건흡합전압、공진빈솔이급기타기우연사/간섭적MEMS기건적미소문거측시등.
