微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2008年
3期
25-29
,共5页
满卫东%孙蕾%吴宇琼%谢鹏%余学超%汪建华
滿衛東%孫蕾%吳宇瓊%謝鵬%餘學超%汪建華
만위동%손뢰%오우경%사붕%여학초%왕건화
金刚石膜%图形化加工%刻蚀%等离子体
金剛石膜%圖形化加工%刻蝕%等離子體
금강석막%도형화가공%각식%등리자체
首先用CVD法制备金刚石厚膜,接着在其表面利用氢等离子体辅助刻蚀,然后在铁薄膜的催石墨化作用下,对金刚石膜的表面进行了选择性的刻蚀.结果表明,在氢等离子体的辅助作用下,铁薄膜可以持续对CVD金刚石膜进行刻蚀;如果控制铁薄膜的形状和厚度,可以实现对CVD金刚石膜表面较精确的图形化刻蚀.该技术有望成为一种新的刻蚀金刚石膜的方法.
首先用CVD法製備金剛石厚膜,接著在其錶麵利用氫等離子體輔助刻蝕,然後在鐵薄膜的催石墨化作用下,對金剛石膜的錶麵進行瞭選擇性的刻蝕.結果錶明,在氫等離子體的輔助作用下,鐵薄膜可以持續對CVD金剛石膜進行刻蝕;如果控製鐵薄膜的形狀和厚度,可以實現對CVD金剛石膜錶麵較精確的圖形化刻蝕.該技術有望成為一種新的刻蝕金剛石膜的方法.
수선용CVD법제비금강석후막,접착재기표면이용경등리자체보조각식,연후재철박막적최석묵화작용하,대금강석막적표면진행료선택성적각식.결과표명,재경등리자체적보조작용하,철박막가이지속대CVD금강석막진행각식;여과공제철박막적형상화후도,가이실현대CVD금강석막표면교정학적도형화각식.해기술유망성위일충신적각식금강석막적방법.
