物理化学学报
物理化學學報
물이화학학보
ACTA PHYSICO-CHIMICA SINICA
2009年
3期
463-469
,共7页
陈长风%姜瑞景%张国安%郑树起
陳長風%薑瑞景%張國安%鄭樹起
진장풍%강서경%장국안%정수기
钝化膜%Mott-Schottky曲线%双极性%空间电荷电容
鈍化膜%Mott-Schottky麯線%雙極性%空間電荷電容
둔화막%Mott-Schottky곡선%쌍겁성%공간전하전용
钝化膜的空间电荷电容的测量(Mott-Schottky(M-S)曲线)是研究其半导体性质的重要手段,双极性半导体钝化膜在耗尽态电位区M-S曲线斜率往往会发生改变,首先建立了半导体富集态、耗尽态以及反型态空间电荷电容的统一计算公式,进而将双极性半导体钝化膜空间电荷电容等效为钝化膜,溶液界面处电容和内层钝化膜/外层钝化膜界面处的np结电容的串联,模拟计算结果能够很好地解释M-S曲线斜率发生改变这一实验现象.同时,计算结果表明,对于双极性半导体的M-S曲线,利用其直线部分的斜率、直线与电位坐标轴的截距来确定钝化膜的载流子浓度以及平带电位会产生一定的误差.
鈍化膜的空間電荷電容的測量(Mott-Schottky(M-S)麯線)是研究其半導體性質的重要手段,雙極性半導體鈍化膜在耗儘態電位區M-S麯線斜率往往會髮生改變,首先建立瞭半導體富集態、耗儘態以及反型態空間電荷電容的統一計算公式,進而將雙極性半導體鈍化膜空間電荷電容等效為鈍化膜,溶液界麵處電容和內層鈍化膜/外層鈍化膜界麵處的np結電容的串聯,模擬計算結果能夠很好地解釋M-S麯線斜率髮生改變這一實驗現象.同時,計算結果錶明,對于雙極性半導體的M-S麯線,利用其直線部分的斜率、直線與電位坐標軸的截距來確定鈍化膜的載流子濃度以及平帶電位會產生一定的誤差.
둔화막적공간전하전용적측량(Mott-Schottky(M-S)곡선)시연구기반도체성질적중요수단,쌍겁성반도체둔화막재모진태전위구M-S곡선사솔왕왕회발생개변,수선건립료반도체부집태、모진태이급반형태공간전하전용적통일계산공식,진이장쌍겁성반도체둔화막공간전하전용등효위둔화막,용액계면처전용화내층둔화막/외층둔화막계면처적np결전용적천련,모의계산결과능구흔호지해석M-S곡선사솔발생개변저일실험현상.동시,계산결과표명,대우쌍겁성반도체적M-S곡선,이용기직선부분적사솔、직선여전위좌표축적절거래학정둔화막적재류자농도이급평대전위회산생일정적오차.
