真空
真空
진공
VACUUM
2010年
5期
9-12
,共4页
李晓静%唐伟忠%高春雨%于盛旺%许恒志%胡浩林
李曉靜%唐偉忠%高春雨%于盛旺%許恆誌%鬍浩林
리효정%당위충%고춘우%우성왕%허항지%호호림
重入式谐振腔%数值模拟%电场分布%金刚石膜
重入式諧振腔%數值模擬%電場分佈%金剛石膜
중입식해진강%수치모의%전장분포%금강석막
微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是制备高品质金刚石膜的重要方法,而MPCVD技术的关键是其设备核心部件谐振腔的设计.本文基于目前广泛应用的圆柱式和椭球式两种MPCVD谐振腔中微波传输的特点和其各自的优点,提出了一种重入式微波谐振腔的设计构想,并利用数值模拟的方法对这一构想进行了验证.模拟的结果表明,微波在重入式微波谐振腔内外壁之间的路径传输后,可在金刚石膜沉积台处形成一最强且相对均匀的电场.在相同的输入功率下,其形成的最大电场强度高于圆柱式和椭球式两种谐振腔时的情况.由于重入式的微波谐振腔具有结构简单、频率易于调节的优点,因而这一构想可为设计制造新型的MPCVD金刚石膜沉积设备提供参考依据.
微波等離子體化學氣相沉積法(MPCVD)是製備高品質金剛石膜的重要方法,而MPCVD技術的關鍵是其設備覈心部件諧振腔的設計.本文基于目前廣汎應用的圓柱式和橢毬式兩種MPCVD諧振腔中微波傳輸的特點和其各自的優點,提齣瞭一種重入式微波諧振腔的設計構想,併利用數值模擬的方法對這一構想進行瞭驗證.模擬的結果錶明,微波在重入式微波諧振腔內外壁之間的路徑傳輸後,可在金剛石膜沉積檯處形成一最彊且相對均勻的電場.在相同的輸入功率下,其形成的最大電場彊度高于圓柱式和橢毬式兩種諧振腔時的情況.由于重入式的微波諧振腔具有結構簡單、頻率易于調節的優點,因而這一構想可為設計製造新型的MPCVD金剛石膜沉積設備提供參攷依據.
미파등리자체화학기상침적법(MPCVD)시제비고품질금강석막적중요방법,이MPCVD기술적관건시기설비핵심부건해진강적설계.본문기우목전엄범응용적원주식화타구식량충MPCVD해진강중미파전수적특점화기각자적우점,제출료일충중입식미파해진강적설계구상,병이용수치모의적방법대저일구상진행료험증.모의적결과표명,미파재중입식미파해진강내외벽지간적로경전수후,가재금강석막침적태처형성일최강차상대균균적전장.재상동적수입공솔하,기형성적최대전장강도고우원주식화타구식량충해진강시적정황.유우중입식적미파해진강구유결구간단、빈솔역우조절적우점,인이저일구상가위설계제조신형적MPCVD금강석막침적설비제공삼고의거.
