传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
9期
8-11
,共4页
介孔材料%TiO2-SnO2薄膜%蒸发诱导自组装%气敏
介孔材料%TiO2-SnO2薄膜%蒸髮誘導自組裝%氣敏
개공재료%TiO2-SnO2박막%증발유도자조장%기민
采用蒸发诱导自组装工艺制备了TiO2-SnO2介孔金属氧化物薄膜.采用静态配气法,研究了不同掺杂量SnO2对TiO2元件气敏性的影响,并通过测定电化学阻抗谱,分析了介孔金属氧化物的气敏机理.结果表明:随着snO2掺杂量的增加,TiO2元件对乙醇气体灵敏度也随之提高,而初始响应温度则随之降低.在250℃时,20%-TiO2和SnO2元件对体积分数为500×10-6乙醇的灵敏度分别为13.24和14.26.阻抗分析表明:复合氧化物对还原性气体敏感过程具有明显容抗特征.
採用蒸髮誘導自組裝工藝製備瞭TiO2-SnO2介孔金屬氧化物薄膜.採用靜態配氣法,研究瞭不同摻雜量SnO2對TiO2元件氣敏性的影響,併通過測定電化學阻抗譜,分析瞭介孔金屬氧化物的氣敏機理.結果錶明:隨著snO2摻雜量的增加,TiO2元件對乙醇氣體靈敏度也隨之提高,而初始響應溫度則隨之降低.在250℃時,20%-TiO2和SnO2元件對體積分數為500×10-6乙醇的靈敏度分彆為13.24和14.26.阻抗分析錶明:複閤氧化物對還原性氣體敏感過程具有明顯容抗特徵.
채용증발유도자조장공예제비료TiO2-SnO2개공금속양화물박막.채용정태배기법,연구료불동참잡량SnO2대TiO2원건기민성적영향,병통과측정전화학조항보,분석료개공금속양화물적기민궤리.결과표명:수착snO2참잡량적증가,TiO2원건대을순기체령민도야수지제고,이초시향응온도칙수지강저.재250℃시,20%-TiO2화SnO2원건대체적분수위500×10-6을순적령민도분별위13.24화14.26.조항분석표명:복합양화물대환원성기체민감과정구유명현용항특정.
