机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2011年
1期
68-72
,共5页
微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)静电%微泵%吸合%释放
微機電繫統(micro-electro-mechanical system,MEMS)靜電%微泵%吸閤%釋放
미궤전계통(micro-electro-mechanical system,MEMS)정전%미빙%흡합%석방
为避免静电微泵因驱动电压过高而出现吸合现象,建立描述静电泵膜吸合与释放现象的一维集中质量模型、二维分布式模型和三维有限元模型,对比研究静电致动泵膜在准静态下吸合与释放的循环过程,获得整个循环过程的泵膜挠曲线变化、泵腔体积变形、电容变化等大量的数据与曲线.比较结果表明,二维分布式模型求解效果最好,并利用三维有限元模型和宏模型的计算结果,验证该模型在泵膜大变形下计算吸合过程的准确性,获得的吸合电压为确定静电微泵驱动电压的上限值提供有效依据.
為避免靜電微泵因驅動電壓過高而齣現吸閤現象,建立描述靜電泵膜吸閤與釋放現象的一維集中質量模型、二維分佈式模型和三維有限元模型,對比研究靜電緻動泵膜在準靜態下吸閤與釋放的循環過程,穫得整箇循環過程的泵膜撓麯線變化、泵腔體積變形、電容變化等大量的數據與麯線.比較結果錶明,二維分佈式模型求解效果最好,併利用三維有限元模型和宏模型的計算結果,驗證該模型在泵膜大變形下計算吸閤過程的準確性,穫得的吸閤電壓為確定靜電微泵驅動電壓的上限值提供有效依據.
위피면정전미빙인구동전압과고이출현흡합현상,건립묘술정전빙막흡합여석방현상적일유집중질량모형、이유분포식모형화삼유유한원모형,대비연구정전치동빙막재준정태하흡합여석방적순배과정,획득정개순배과정적빙막뇨곡선변화、빙강체적변형、전용변화등대량적수거여곡선.비교결과표명,이유분포식모형구해효과최호,병이용삼유유한원모형화굉모형적계산결과,험증해모형재빙막대변형하계산흡합과정적준학성,획득적흡합전압위학정정전미빙구동전압적상한치제공유효의거.
