真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
1期
124-127
,共4页
刘成%安其%周丽华%钱子勍%叶晓军%陈鸣波
劉成%安其%週麗華%錢子勍%葉曉軍%陳鳴波
류성%안기%주려화%전자경%협효군%진명파
柔性衬底%屏蔽罩%微晶硅%非晶硅/微晶硅%叠层太阳电池
柔性襯底%屏蔽罩%微晶硅%非晶硅/微晶硅%疊層太暘電池
유성츤저%병폐조%미정규%비정규/미정규%첩층태양전지
通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况 下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一 倍,微晶相至非晶相的硅烷浓度转变点有所变化.将沉积条件应用于不锈钢柔性衬底的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,获得了9.28%(AM0,1353 W/m2)和11.26%(AM1.5,1000 W/m2)的光电转换效率.
通過改變硅烷濃度,採用等離子體增彊化學氣相沉積方法製備瞭在有無金屬屏蔽罩兩種情況 下的繫列微晶硅太暘電池,髮現將金屬屏蔽罩去除後,本徵微晶硅材料的沉積速率提高約一 倍,微晶相至非晶相的硅烷濃度轉變點有所變化.將沉積條件應用于不鏽鋼柔性襯底的非晶硅/微晶硅疊層太暘電池,穫得瞭9.28%(AM0,1353 W/m2)和11.26%(AM1.5,1000 W/m2)的光電轉換效率.
통과개변규완농도,채용등리자체증강화학기상침적방법제비료재유무금속병폐조량충정황 하적계렬미정규태양전지,발현장금속병폐조거제후,본정미정규재료적침적속솔제고약일 배,미정상지비정상적규완농도전변점유소변화.장침적조건응용우불수강유성츤저적비정규/미정규첩층태양전지,획득료9.28%(AM0,1353 W/m2)화11.26%(AM1.5,1000 W/m2)적광전전환효솔.
