强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
5期
1177-1181
,共5页
郭汝海%时魁%王恒坤%王兵
郭汝海%時魁%王恆坤%王兵
곽여해%시괴%왕항곤%왕병
半导体激光器%高功率%激光损伤%功率密度
半導體激光器%高功率%激光損傷%功率密度
반도체격광기%고공솔%격광손상%공솔밀도
为研究880 nm 高功率半导体连续激光器对光学元件的损伤特性,选择了K9玻璃、ZnSe晶体和无氧铜进行镀膜加工,形成高反射率和高透过率的光学元件.通过调节到达光学元件表面的平均功率和改变光斑大小来改变光学元件表面的功率密度,并连续照射30 s,最终通过显微镜来观察元件的激光损伤形貌.研究结果表明:镀高反膜的K9玻璃在功率密度达到600 W/cm2时,膜系表面出现烧熔现象,当达到1 000 W/cm2 时出现炸裂现象,而无氧铜基底镀金反射镜在上述功率密度下未发现损伤;而镀增透膜的ZnSe晶体在激光功率密度高达1 000 W/cm2 时,通过显微镜观察没有发现明显的损伤,热像仪显示基底温升为5℃.
為研究880 nm 高功率半導體連續激光器對光學元件的損傷特性,選擇瞭K9玻璃、ZnSe晶體和無氧銅進行鍍膜加工,形成高反射率和高透過率的光學元件.通過調節到達光學元件錶麵的平均功率和改變光斑大小來改變光學元件錶麵的功率密度,併連續照射30 s,最終通過顯微鏡來觀察元件的激光損傷形貌.研究結果錶明:鍍高反膜的K9玻璃在功率密度達到600 W/cm2時,膜繫錶麵齣現燒鎔現象,噹達到1 000 W/cm2 時齣現炸裂現象,而無氧銅基底鍍金反射鏡在上述功率密度下未髮現損傷;而鍍增透膜的ZnSe晶體在激光功率密度高達1 000 W/cm2 時,通過顯微鏡觀察沒有髮現明顯的損傷,熱像儀顯示基底溫升為5℃.
위연구880 nm 고공솔반도체련속격광기대광학원건적손상특성,선택료K9파리、ZnSe정체화무양동진행도막가공,형성고반사솔화고투과솔적광학원건.통과조절도체광학원건표면적평균공솔화개변광반대소래개변광학원건표면적공솔밀도,병련속조사30 s,최종통과현미경래관찰원건적격광손상형모.연구결과표명:도고반막적K9파리재공솔밀도체도600 W/cm2시,막계표면출현소용현상,당체도1 000 W/cm2 시출현작렬현상,이무양동기저도금반사경재상술공솔밀도하미발현손상;이도증투막적ZnSe정체재격광공솔밀도고체1 000 W/cm2 시,통과현미경관찰몰유발현명현적손상,열상의현시기저온승위5℃.