传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
4期
53-55,59
,共4页
微机电系统%微波开关%封装
微機電繫統%微波開關%封裝
미궤전계통%미파개관%봉장
提出并设计一种采用绝缘液体充填封装的RF MEMS开关,分析其工作原理,并以高压油、蓖麻油、甘油为绝缘液体充填封装,仿真分析绝缘液体对RF MEMS开关的驱动电压、冲击速度、响应时间、开关电容等方面的影响.结果表明:绝缘液体充填封装有效地将驱动电压降为原来的1/εr,降低上极板对下极板的冲击速度.对3种液态封装材料性能分析,蓖麻油效果最好:阈值电压下降了一半,约为10V；当驱动电压为20V时,响应时间为40.6μs,优于高压油(91.3μs)、甘油(89.9 μs),冲击速度约为1.26 m/s.
提齣併設計一種採用絕緣液體充填封裝的RF MEMS開關,分析其工作原理,併以高壓油、蓖痳油、甘油為絕緣液體充填封裝,倣真分析絕緣液體對RF MEMS開關的驅動電壓、遲擊速度、響應時間、開關電容等方麵的影響.結果錶明:絕緣液體充填封裝有效地將驅動電壓降為原來的1/εr,降低上極闆對下極闆的遲擊速度.對3種液態封裝材料性能分析,蓖痳油效果最好:閾值電壓下降瞭一半,約為10V；噹驅動電壓為20V時,響應時間為40.6μs,優于高壓油(91.3μs)、甘油(89.9 μs),遲擊速度約為1.26 m/s.
제출병설계일충채용절연액체충전봉장적RF MEMS개관,분석기공작원리,병이고압유、비마유、감유위절연액체충전봉장,방진분석절연액체대RF MEMS개관적구동전압、충격속도、향응시간、개관전용등방면적영향.결과표명:절연액체충전봉장유효지장구동전압강위원래적1/εr,강저상겁판대하겁판적충격속도.대3충액태봉장재료성능분석,비마유효과최호:역치전압하강료일반,약위10V；당구동전압위20V시,향응시간위40.6μs,우우고압유(91.3μs)、감유(89.9 μs),충격속도약위1.26 m/s.
