光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
4期
719-726
,共8页
光学制造%非球面%非接触加工%超光滑抛光%液体抛光%加工机床
光學製造%非毬麵%非接觸加工%超光滑拋光%液體拋光%加工機床
광학제조%비구면%비접촉가공%초광활포광%액체포광%가공궤상
基于数控技术,提出了一种非接触式光学元件表面超光滑液体抛光方法.通过磨头中心孔为抛光表面提供抛光液,抛光液在磨头自转的带动下与光学元件表面相互作用,实现光学元件表面材料的微量去除,利用计算机控制抛光磨头的运动轨迹完成对光学元件表面的抛光.根据上述原理,设计和研制了数控非接触表面超光滑光学元件加工机床样机,样机直线运动轴最低进给速度为0.000 1 m/s,定位精度为0.008 mm；摆动轴最低转速为0.002 8 r/min,定位精度为15″.抛光实验结果表明,经过20 min的超光滑加工,熔石英材质光学元件上两点的表面粗糙度Ra值分别由加工前的1.03 nm和0.92 nm提高到加工后的0.48 nm和0.44 nm,显著提高了加工精度.
基于數控技術,提齣瞭一種非接觸式光學元件錶麵超光滑液體拋光方法.通過磨頭中心孔為拋光錶麵提供拋光液,拋光液在磨頭自轉的帶動下與光學元件錶麵相互作用,實現光學元件錶麵材料的微量去除,利用計算機控製拋光磨頭的運動軌跡完成對光學元件錶麵的拋光.根據上述原理,設計和研製瞭數控非接觸錶麵超光滑光學元件加工機床樣機,樣機直線運動軸最低進給速度為0.000 1 m/s,定位精度為0.008 mm；襬動軸最低轉速為0.002 8 r/min,定位精度為15″.拋光實驗結果錶明,經過20 min的超光滑加工,鎔石英材質光學元件上兩點的錶麵粗糙度Ra值分彆由加工前的1.03 nm和0.92 nm提高到加工後的0.48 nm和0.44 nm,顯著提高瞭加工精度.
기우수공기술,제출료일충비접촉식광학원건표면초광활액체포광방법.통과마두중심공위포광표면제공포광액,포광액재마두자전적대동하여광학원건표면상호작용,실현광학원건표면재료적미량거제,이용계산궤공제포광마두적운동궤적완성대광학원건표면적포광.근거상술원리,설계화연제료수공비접촉표면초광활광학원건가공궤상양궤,양궤직선운동축최저진급속도위0.000 1 m/s,정위정도위0.008 mm；파동축최저전속위0.002 8 r/min,정위정도위15″.포광실험결과표명,경과20 min적초광활가공,용석영재질광학원건상량점적표면조조도Ra치분별유가공전적1.03 nm화0.92 nm제고도가공후적0.48 nm화0.44 nm,현저제고료가공정도.
