机电工程技术
機電工程技術
궤전공정기술
MACHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING TECHNOLOGY
2012年
5期
22-25
,共4页
宽光谱%嵌入式%膜厚监控
寬光譜%嵌入式%膜厚鑑控
관광보%감입식%막후감공
为了实时准确监控光学镀膜膜层厚度,基于宽光谱扫描法.结合嵌入式控制技术,开发出一套以ARM9与Linux系统的高效嵌入系统为基础,应用于光学镀膜工艺过程监控镀膜层厚度的监控系统.本系统能通过在薄膜生长过程中实时、高精度地测量其宽光谱特性,对镀膜过程进行自动控制.详细阐述了该系统的工作原理、硬件系统和软件系统,实验结果表明,系统具有较高的监控能力,性能稳定.
為瞭實時準確鑑控光學鍍膜膜層厚度,基于寬光譜掃描法.結閤嵌入式控製技術,開髮齣一套以ARM9與Linux繫統的高效嵌入繫統為基礎,應用于光學鍍膜工藝過程鑑控鍍膜層厚度的鑑控繫統.本繫統能通過在薄膜生長過程中實時、高精度地測量其寬光譜特性,對鍍膜過程進行自動控製.詳細闡述瞭該繫統的工作原理、硬件繫統和軟件繫統,實驗結果錶明,繫統具有較高的鑑控能力,性能穩定.
위료실시준학감공광학도막막층후도,기우관광보소묘법.결합감입식공제기술,개발출일투이ARM9여Linux계통적고효감입계통위기출,응용우광학도막공예과정감공도막층후도적감공계통.본계통능통과재박막생장과정중실시、고정도지측량기관광보특성,대도막과정진행자동공제.상세천술료해계통적공작원리、경건계통화연건계통,실험결과표명,계통구유교고적감공능력,성능은정.
