计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2012年
6期
6-9
,共4页
孙双花%薛梓%叶孝佑%王鹤岩
孫雙花%薛梓%葉孝祐%王鶴巖
손쌍화%설재%협효우%왕학암
计量学%激光二坐标%图像测量%微刻线尺%线间距
計量學%激光二坐標%圖像測量%微刻線呎%線間距
계량학%격광이좌표%도상측량%미각선척%선간거
在高精度激光二坐标标准装置上实现了线宽2μm、最小线间距10μm的微刻线尺的高精度检测.采用高精度差动式激光干涉测长系统作为测长基准,高倍光学镜和高分辨力CCD组合作为精密光学瞄准定位反馈,设计了采样窗自动识别算法实现了条纹图像的自动识别瞄准,提出了采样窗内双向逐行扫描及3σ准则剔除离群点的边缘提取算法,提高了边缘检测精度.微刻线尺线间距的测量不确定度优于0.3μm,k=2,测量的重复性标准差优于20nm.
在高精度激光二坐標標準裝置上實現瞭線寬2μm、最小線間距10μm的微刻線呎的高精度檢測.採用高精度差動式激光榦涉測長繫統作為測長基準,高倍光學鏡和高分辨力CCD組閤作為精密光學瞄準定位反饋,設計瞭採樣窗自動識彆算法實現瞭條紋圖像的自動識彆瞄準,提齣瞭採樣窗內雙嚮逐行掃描及3σ準則剔除離群點的邊緣提取算法,提高瞭邊緣檢測精度.微刻線呎線間距的測量不確定度優于0.3μm,k=2,測量的重複性標準差優于20nm.
재고정도격광이좌표표준장치상실현료선관2μm、최소선간거10μm적미각선척적고정도검측.채용고정도차동식격광간섭측장계통작위측장기준,고배광학경화고분변력CCD조합작위정밀광학묘준정위반궤,설계료채양창자동식별산법실현료조문도상적자동식별묘준,제출료채양창내쌍향축행소묘급3σ준칙척제리군점적변연제취산법,제고료변연검측정도.미각선척선간거적측량불학정도우우0.3μm,k=2,측량적중복성표준차우우20nm.
