光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2012年
5期
139-144
,共6页
光学制造%微射流抛光%流体动力学%超光滑
光學製造%微射流拋光%流體動力學%超光滑
광학제조%미사류포광%류체동역학%초광활
为实现193 nm投影物镜光学元件的超光滑加工,介绍了一种非接触式微射流超光滑表面加工方法,对该方法的材料去除特性和超光滑加工效果进行研究.首先,采用计算流体动力学理论对其材料去除机理进行了仿真研究,通过对微射流流场的压力、速度和表面剪切力的分析得到其去除函数形状与表面剪切力的分布相反,呈现W型.随后,采用正交法对各工艺参数对抛光效果的影响进行了综合分析,结果表明材料去除效率随入射速度和磨料浓度的增大而增大,随工作距离增大而减小,并且工作距离具有显著影响,为实验研究中工艺参数的选取提供了指导意义.最后,在自研的微射流抛光机床上对一平面熔石英进行了抛光实验,加工样件表面粗糙度均方根值由初始的1.02 nm降为0.56 nm.实验结果表明,微射流抛光技术可以用于光学元件的超光滑加工.
為實現193 nm投影物鏡光學元件的超光滑加工,介紹瞭一種非接觸式微射流超光滑錶麵加工方法,對該方法的材料去除特性和超光滑加工效果進行研究.首先,採用計算流體動力學理論對其材料去除機理進行瞭倣真研究,通過對微射流流場的壓力、速度和錶麵剪切力的分析得到其去除函數形狀與錶麵剪切力的分佈相反,呈現W型.隨後,採用正交法對各工藝參數對拋光效果的影響進行瞭綜閤分析,結果錶明材料去除效率隨入射速度和磨料濃度的增大而增大,隨工作距離增大而減小,併且工作距離具有顯著影響,為實驗研究中工藝參數的選取提供瞭指導意義.最後,在自研的微射流拋光機床上對一平麵鎔石英進行瞭拋光實驗,加工樣件錶麵粗糙度均方根值由初始的1.02 nm降為0.56 nm.實驗結果錶明,微射流拋光技術可以用于光學元件的超光滑加工.
위실현193 nm투영물경광학원건적초광활가공,개소료일충비접촉식미사류초광활표면가공방법,대해방법적재료거제특성화초광활가공효과진행연구.수선,채용계산류체동역학이론대기재료거제궤리진행료방진연구,통과대미사류류장적압력、속도화표면전절력적분석득도기거제함수형상여표면전절력적분포상반,정현W형.수후,채용정교법대각공예삼수대포광효과적영향진행료종합분석,결과표명재료거제효솔수입사속도화마료농도적증대이증대,수공작거리증대이감소,병차공작거리구유현저영향,위실험연구중공예삼수적선취제공료지도의의.최후,재자연적미사류포광궤상상대일평면용석영진행료포광실험,가공양건표면조조도균방근치유초시적1.02 nm강위0.56 nm.실험결과표명,미사류포광기술가이용우광학원건적초광활가공.
