广东第二师范学院学报
廣東第二師範學院學報
엄동제이사범학원학보
JOURNAL OF GUANGDONG EDUCATION INSTITUTE
2011年
5期
40-45
,共6页
硅薄膜%动力学蒙特卡罗%温度%覆盖率
硅薄膜%動力學矇特卡囉%溫度%覆蓋率
규박막%동역학몽특잡라%온도%복개솔
Si thin films%lattice-kinetic Monte Carlo%temperature%coverage
建立超薄膜Si外延生长的晶格一动力学蒙特卡罗模型，并应用该模型模拟了Si原子在Si（111）基底上外延生长的过程．系统研究了沉积时间、基片温度对于薄膜初始生长形貌的影响，如影响粒子的扩散与凝聚、岛的生长等微观过程．
建立超薄膜Si外延生長的晶格一動力學矇特卡囉模型，併應用該模型模擬瞭Si原子在Si（111）基底上外延生長的過程．繫統研究瞭沉積時間、基片溫度對于薄膜初始生長形貌的影響，如影響粒子的擴散與凝聚、島的生長等微觀過程．
건립초박막Si외연생장적정격일동역학몽특잡라모형，병응용해모형모의료Si원자재Si（111）기저상외연생장적과정．계통연구료침적시간、기편온도대우박막초시생장형모적영향，여영향입자적확산여응취、도적생장등미관과정．
A lattice-kinetic Monte Carlo model is established to study the dynamic mechanism during the early growing of Si/Si（111）. The diffusion processes of adatoms that influence the micro-morphology of thin film are discussed under the different substrate temperatures and deposition time, such as the micro-processes of diffusion, nucleation, and growth of island.
