导航与控制
導航與控製
도항여공제
NAVIGATION AND CONTROL
2011年
1期
45-47
,共3页
万蔡辛%李丹东%张承亮%薛旭
萬蔡辛%李丹東%張承亮%薛旭
만채신%리단동%장승량%설욱
微机电系统%微加速度计%空气阻尼%机械布朗噪声
微機電繫統%微加速度計%空氣阻尼%機械佈朗譟聲
미궤전계통%미가속도계%공기조니%궤계포랑조성
为明确梳齿电容式与"三明治"电容式微加速度计的噪声极限与相关的三类结构形式对应的微机械加工工艺影响,着重分析了三种工艺实现下的典型参数微加速度计的大气环境下空气阻尼情况,并剖析了不同的结构形式与不同的加工工艺对结构型式的约束和对精度极限的限制.为说明由尺度效应带来的微加速度计受空气阻尼影响而产生的远大于传统加速度计的机械噪声,对三种工艺的电容式微加速度计的空气阻尼与机械噪声情况进行了典型参数的半定量计算.本文的结论说明了在微观尺度下的微加速度计在机械噪声方面的量级与特征;在此基础上,引申出由于不同结构型式和工艺限制决定的微加速度计可达的精度极限.
為明確梳齒電容式與"三明治"電容式微加速度計的譟聲極限與相關的三類結構形式對應的微機械加工工藝影響,著重分析瞭三種工藝實現下的典型參數微加速度計的大氣環境下空氣阻尼情況,併剖析瞭不同的結構形式與不同的加工工藝對結構型式的約束和對精度極限的限製.為說明由呎度效應帶來的微加速度計受空氣阻尼影響而產生的遠大于傳統加速度計的機械譟聲,對三種工藝的電容式微加速度計的空氣阻尼與機械譟聲情況進行瞭典型參數的半定量計算.本文的結論說明瞭在微觀呎度下的微加速度計在機械譟聲方麵的量級與特徵;在此基礎上,引申齣由于不同結構型式和工藝限製決定的微加速度計可達的精度極限.
위명학소치전용식여"삼명치"전용식미가속도계적조성겁한여상관적삼류결구형식대응적미궤계가공공예영향,착중분석료삼충공예실현하적전형삼수미가속도계적대기배경하공기조니정황,병부석료불동적결구형식여불동적가공공예대결구형식적약속화대정도겁한적한제.위설명유척도효응대래적미가속도계수공기조니영향이산생적원대우전통가속도계적궤계조성,대삼충공예적전용식미가속도계적공기조니여궤계조성정황진행료전형삼수적반정량계산.본문적결논설명료재미관척도하적미가속도계재궤계조성방면적량급여특정;재차기출상,인신출유우불동결구형식화공예한제결정적미가속도계가체적정도겁한.
