机电技术
機電技術
궤전기술
MECHANICAL & ELECTRICAL TECHNOLOGY
2011年
2期
51-53
,共3页
王伟%刘伟%迟岩%郑森伟
王偉%劉偉%遲巖%鄭森偉
왕위%류위%지암%정삼위
行星式研磨抛光机%传动机构%抛光加工%表面粗糙度
行星式研磨拋光機%傳動機構%拋光加工%錶麵粗糙度
행성식연마포광궤%전동궤구%포광가공%표면조조도
针对传统双面抛光机存在的抛光过程中的加载均匀性问题,对抛光机传动机构进行优化改进设计,并在此抛光机上对硅晶片进行抛光加工试验,通过试验研究了不同加工参数对硅晶片表面粗糙度和材料去除率的影响.试验研究结果表明:传动机构优化设计提高了行星式研磨抛光机床的精度和系统性能:在相同的加工速度下,改造前后抛光机的加工效率接近,改造后对工件加工的表面粗糙度约为改造前的1/3.该设备的改造设计对提高抛光机的加工精度有重要意义.
針對傳統雙麵拋光機存在的拋光過程中的加載均勻性問題,對拋光機傳動機構進行優化改進設計,併在此拋光機上對硅晶片進行拋光加工試驗,通過試驗研究瞭不同加工參數對硅晶片錶麵粗糙度和材料去除率的影響.試驗研究結果錶明:傳動機構優化設計提高瞭行星式研磨拋光機床的精度和繫統性能:在相同的加工速度下,改造前後拋光機的加工效率接近,改造後對工件加工的錶麵粗糙度約為改造前的1/3.該設備的改造設計對提高拋光機的加工精度有重要意義.
침대전통쌍면포광궤존재적포광과정중적가재균균성문제,대포광궤전동궤구진행우화개진설계,병재차포광궤상대규정편진행포광가공시험,통과시험연구료불동가공삼수대규정편표면조조도화재료거제솔적영향.시험연구결과표명:전동궤구우화설계제고료행성식연마포광궤상적정도화계통성능:재상동적가공속도하,개조전후포광궤적가공효솔접근,개조후대공건가공적표면조조도약위개조전적1/3.해설비적개조설계대제고포광궤적가공정도유중요의의.
