电子质量
電子質量
전자질량
ELECTRONICS QUALITY
2011年
2期
11-13
,共3页
王巍%王晓磊%代作海%王颖
王巍%王曉磊%代作海%王穎
왕외%왕효뢰%대작해%왕영
TiO2%Fe%W%氧敏特性
TiO2%Fe%W%氧敏特性
TiO2%Fe%W%양민특성
该文讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理、重点分析了掺铁和掺钨对氧敏特性的影响,并比较了两者的异同.制作了掺铁和掺钨的TiO2薄膜,并在400℃下对薄膜氧敏特性进行了测试.结果表明.TiO2具有低电阻的特点,在高温下能够有效感应氧气浓度的变化.
該文討論瞭TiO2對氧氣的吸附過程及敏感機理、重點分析瞭摻鐵和摻鎢對氧敏特性的影響,併比較瞭兩者的異同.製作瞭摻鐵和摻鎢的TiO2薄膜,併在400℃下對薄膜氧敏特性進行瞭測試.結果錶明.TiO2具有低電阻的特點,在高溫下能夠有效感應氧氣濃度的變化.
해문토론료TiO2대양기적흡부과정급민감궤리、중점분석료참철화참오대양민특성적영향,병비교료량자적이동.제작료참철화참오적TiO2박막,병재400℃하대박막양민특성진행료측시.결과표명.TiO2구유저전조적특점,재고온하능구유효감응양기농도적변화.
