化学工程与装备
化學工程與裝備
화학공정여장비
CHEMICAL ENGINEERING & EQUIPMENT
2010年
8期
5-7
,共3页
林会会%石巨岩%王保成%马秋平
林會會%石巨巖%王保成%馬鞦平
림회회%석거암%왕보성%마추평
四氯化硅%电化学还原%SUP13Cr%不锈钢%硅
四氯化硅%電化學還原%SUP13Cr%不鏽鋼%硅
사록화규%전화학환원%SUP13Cr%불수강%규
本文首次选用价格相对低廉的SUP13Cr不锈钢作为工作电极,在室温条件下非水溶剂碳酸丙烯酯中利用电化学方法还原四氯化硅得到沉积硅,并用SEM及EDS对所得样品进行了表征.结果表明:以SIP13Cr不锈钢作为工作电极时,可在-3.0V的电位下将四氯化硅还原为硅沉积在工作电极表面.随着电化学还原时间从1小时延长到4小时,沉积层中的硅元索相对原子含量从3.33%增加到9.29%.
本文首次選用價格相對低廉的SUP13Cr不鏽鋼作為工作電極,在室溫條件下非水溶劑碳痠丙烯酯中利用電化學方法還原四氯化硅得到沉積硅,併用SEM及EDS對所得樣品進行瞭錶徵.結果錶明:以SIP13Cr不鏽鋼作為工作電極時,可在-3.0V的電位下將四氯化硅還原為硅沉積在工作電極錶麵.隨著電化學還原時間從1小時延長到4小時,沉積層中的硅元索相對原子含量從3.33%增加到9.29%.
본문수차선용개격상대저렴적SUP13Cr불수강작위공작전겁,재실온조건하비수용제탄산병희지중이용전화학방법환원사록화규득도침적규,병용SEM급EDS대소득양품진행료표정.결과표명:이SIP13Cr불수강작위공작전겁시,가재-3.0V적전위하장사록화규환원위규침적재공작전겁표면.수착전화학환원시간종1소시연장도4소시,침적층중적규원색상대원자함량종3.33%증가도9.29%.