4H-SiC晶体表面形貌和多型结构变化研究
4H-SiC정체표면형모화다형결구변화연구
Study on Surface Morphology and Polytype Transition of 4H-SiC Single Crystals
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2010年 3期 559-563 ,共5页

    彭燕%宁丽娜%高玉强%徐化勇%宋生%蒋锴%胡小波%徐现刚

    팽연%저려나%고옥강%서화용%송생%장개%호소파%서현강

    4H-SiC%裂缝缺陷%晶型转变 4H-SiC%裂縫缺陷%晶型轉變
    4H-SiC%렬봉결함%정형전변
    利用光学显微镜、显微拉曼光谱仪研究了4H-SiC晶体表面形貌和多型分布.显微镜观察结果显示4H-SiC小面生长螺蜷线呈圆形,沿<11(2-)0>方向容易出现裂缝.裂缝两侧有不同的生长形貌.拉曼光谱结果显示缺陷两侧为不同的晶型,裂缝实际为晶型转化的标志.纵切片观察发现,在4H-SiC和15R-SiC多型交界处产生平行于<11(2-)0>方向裂缝;15R-SiC多型一旦出现,其径向生长方向平行于<11(2-)0>方向,轴向生长方向平行于<000(1-)>方向.
    이용광학현미경、현미랍만광보의연구료4H-SiC정체표면형모화다형분포.현미경관찰결과현시4H-SiC소면생장라권선정원형,연<11(2-)0>방향용역출현렬봉.렬봉량측유불동적생장형모.랍만광보결과현시결함량측위불동적정형,렬봉실제위정형전화적표지.종절편관찰발현,재4H-SiC화15R-SiC다형교계처산생평행우<11(2-)0>방향렬봉;15R-SiC다형일단출현,기경향생장방향평행우<11(2-)0>방향,축향생장방향평행우<000(1-)>방향.
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