人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
2期
500-503
,共4页
范素华%马建平%张丰庆%车全德%于冉
範素華%馬建平%張豐慶%車全德%于冉
범소화%마건평%장봉경%차전덕%우염
粉末溶胶法%钙锶铋钛%铁电厚膜%铁电性能
粉末溶膠法%鈣鍶鉍鈦%鐵電厚膜%鐵電性能
분말용효법%개송필태%철전후막%철전성능
采用粉末溶胶法和快速层层退火工艺,在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了钙锶铋钛(CSBT)陶瓷厚膜.研究了纳米晶粉体加入量对钙锶铋钛陶瓷厚膜结构及性能的影响.结果表明:纳米晶粉体加入量在较宽的范围内可以制备出高质量的钙锶铋钛厚膜,厚膜的显微结构及铁电性能对粉末的加入量比较敏感,适当的加入量有利于促使厚膜晶粒的a轴择优取向,从而有利于膜的铁电性能.当粉末加入量为7.5 g/100 mL时,钙锶铋钛陶瓷厚膜晶粒出现a轴择优取向,剩余极化和矫顽场强分别为6.3 μC/cm2和57 kV/cm,具有较高的应用价值.
採用粉末溶膠法和快速層層退火工藝,在Pt/Ti/SiO2/Si基片上製備瞭鈣鍶鉍鈦(CSBT)陶瓷厚膜.研究瞭納米晶粉體加入量對鈣鍶鉍鈦陶瓷厚膜結構及性能的影響.結果錶明:納米晶粉體加入量在較寬的範圍內可以製備齣高質量的鈣鍶鉍鈦厚膜,厚膜的顯微結構及鐵電性能對粉末的加入量比較敏感,適噹的加入量有利于促使厚膜晶粒的a軸擇優取嚮,從而有利于膜的鐵電性能.噹粉末加入量為7.5 g/100 mL時,鈣鍶鉍鈦陶瓷厚膜晶粒齣現a軸擇優取嚮,剩餘極化和矯頑場彊分彆為6.3 μC/cm2和57 kV/cm,具有較高的應用價值.
채용분말용효법화쾌속층층퇴화공예,재Pt/Ti/SiO2/Si기편상제비료개송필태(CSBT)도자후막.연구료납미정분체가입량대개송필태도자후막결구급성능적영향.결과표명:납미정분체가입량재교관적범위내가이제비출고질량적개송필태후막,후막적현미결구급철전성능대분말적가입량비교민감,괄당적가입량유리우촉사후막정립적a축택우취향,종이유리우막적철전성능.당분말가입량위7.5 g/100 mL시,개송필태도자후막정립출현a축택우취향,잉여겁화화교완장강분별위6.3 μC/cm2화57 kV/cm,구유교고적응용개치.
