中国科技博览
中國科技博覽
중국과기박람
CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY REVIEW
2009年
7期
66-67
,共2页
准分子激光%均束器%光刻%加工窗
準分子激光%均束器%光刻%加工窗
준분자격광%균속기%광각%가공창
以准分子激光在半导体微光刻技术、脉冲激光沉积、平板显示器加工制造以及激光钻孔中的应用为例,阐述了准分子激光光束均匀化的重要性;按照折射光学元件、衍射光学元件和混合光学元件分类的方法,分别对这三类准分子激光均束器进行了介绍,并对其特点、应用和进展情况进行了综述.
以準分子激光在半導體微光刻技術、脈遲激光沉積、平闆顯示器加工製造以及激光鑽孔中的應用為例,闡述瞭準分子激光光束均勻化的重要性;按照摺射光學元件、衍射光學元件和混閤光學元件分類的方法,分彆對這三類準分子激光均束器進行瞭介紹,併對其特點、應用和進展情況進行瞭綜述.
이준분자격광재반도체미광각기술、맥충격광침적、평판현시기가공제조이급격광찬공중적응용위례,천술료준분자격광광속균균화적중요성;안조절사광학원건、연사광학원건화혼합광학원건분류적방법,분별대저삼류준분자격광균속기진행료개소,병대기특점、응용화진전정황진행료종술.
