材料研究与应用
材料研究與應用
재료연구여응용
MATERIALS RESEARCH AND APPLICATION
2008年
4期
465-469
,共5页
VO2薄膜%软化学法%制备%热处理温度%氧分压
VO2薄膜%軟化學法%製備%熱處理溫度%氧分壓
VO2박막%연화학법%제비%열처리온도%양분압
综述了采用软化学方法制备VO2薄膜的工艺技术特点,以前驱物的划分为主线,着重探讨了前驱物的选择、氧分压和热处理温度等工艺条件对其物相结构与性能的影响,对反应热力学进行了初步的探讨.我们认为,热处理温度和气氛的调节控制是获得单一相热色VO2薄膜的技术关键.
綜述瞭採用軟化學方法製備VO2薄膜的工藝技術特點,以前驅物的劃分為主線,著重探討瞭前驅物的選擇、氧分壓和熱處理溫度等工藝條件對其物相結構與性能的影響,對反應熱力學進行瞭初步的探討.我們認為,熱處理溫度和氣氛的調節控製是穫得單一相熱色VO2薄膜的技術關鍵.
종술료채용연화학방법제비VO2박막적공예기술특점,이전구물적화분위주선,착중탐토료전구물적선택、양분압화열처리온도등공예조건대기물상결구여성능적영향,대반응열역학진행료초보적탐토.아문인위,열처리온도화기분적조절공제시획득단일상열색VO2박막적기술관건.
