仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2008年
11期
18-19,31
,共3页
MEMS工艺技术%敏感元件%介质隔离%生产工艺
MEMS工藝技術%敏感元件%介質隔離%生產工藝
MEMS공예기술%민감원건%개질격리%생산공예
运用MEMS工艺技术制作的敏感元件和介质隔离特殊封装工艺,研制出压力传感器.在腔体内置填充架、充油位置、波纹膜结构等进行了技术创新,使产品的过滤脉冲压力、抗过载和温度系数具有一定的提高.并就创新点对参数影响等特征进行相关论述.
運用MEMS工藝技術製作的敏感元件和介質隔離特殊封裝工藝,研製齣壓力傳感器.在腔體內置填充架、充油位置、波紋膜結構等進行瞭技術創新,使產品的過濾脈遲壓力、抗過載和溫度繫數具有一定的提高.併就創新點對參數影響等特徵進行相關論述.
운용MEMS공예기술제작적민감원건화개질격리특수봉장공예,연제출압력전감기.재강체내치전충가、충유위치、파문막결구등진행료기술창신,사산품적과려맥충압력、항과재화온도계수구유일정적제고.병취창신점대삼수영향등특정진행상관논술.
